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付运涛

作品数：8 被引量：0H指数：0
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合作作者

领域

  • 2个文化科学
  • 1个机械工程
  • 1个电子电信
  • 1个自动化与计算...

主题

  • 2个调节装置
  • 2个信号
  • 2个信号调节
  • 2个遮挡
  • 2个真空度
  • 2个中间温度
  • 2个上升沿
  • 2个生产环境
  • 2个升温速率
  • 2个时滞
  • 2个数字传感器
  • 2个搜索
  • 2个屏蔽
  • 2个前馈
  • 2个前馈补偿
  • 2个温控
  • 2个温控系统
  • 2个温区
  • 2个脉冲
  • 2个控制器

机构

  • 3个北京七星华创...

传媒

  • 1个电子工业专用...

地区

  • 3个北京市
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张海轮
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：半导体设备 氧化炉 控制方法 立式 硅片
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刘晨曦
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：半导体工艺设备 半导体工艺 减速 脉冲 温控系统
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王峰
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：CVD设备 半导体工艺设备 温控系统 微分控制 自校正调节
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