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刘晨曦

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇中文专利

领域

  • 1篇文化科学

主题

  • 3篇半导体
  • 2篇数字传感器
  • 2篇前馈
  • 2篇前馈补偿
  • 2篇温控
  • 2篇温控系统
  • 2篇脉冲
  • 2篇减速
  • 2篇感器
  • 2篇半导体工艺
  • 2篇半导体工艺设...
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇电力
  • 1篇电力供应
  • 1篇心跳
  • 1篇信号量
  • 1篇遮挡
  • 1篇中间温度
  • 1篇上升沿

机构

  • 6篇北京七星华创...

作者

  • 6篇刘晨曦
  • 4篇王峰
  • 3篇付运涛
  • 2篇邰晶
  • 2篇周峰
  • 1篇徐冬
  • 1篇张海轮

年份

  • 3篇2017
  • 1篇2015
  • 2篇2014
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
一种具有前馈补偿的半导体工艺设备的温控方法
一种具有前馈补偿的半导体工艺设备的温控方法，该半导体工艺设备中包括一个或多个控温区的温控，该方法包括根据半导体工艺预设的温控条件，构建温控的前馈补偿参考信号轨迹，即将整个温控升温阶段划分为包括高速升温阶段和标准升温阶段，...
王峰付运涛刘晨曦
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一种具有前馈补偿的半导体工艺设备的温控方法
一种具有前馈补偿的半导体工艺设备的温控方法，该半导体工艺设备中包括一个或多个控温区的温控，该方法包括根据半导体工艺预设的温控条件，构建温控的前馈补偿参考信号轨迹，即将整个温控升温阶段划分为包括高速升温阶段和标准升温阶段，...
王峰付运涛刘晨曦
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一种控制晶舟升降运动的原点定位方法
一种控制晶舟升降运动的原点定位方法，包括：控制晶舟以一设定的速度参数向下运动，当原点传感器探测到舟升降机构刚遮挡原点传感器时，立即控制晶舟减速停止；然后,控制晶舟以一较慢的速度参数启动晶舟向上运动，当检测到原点脉冲上升沿...
邰晶周峰王峰刘晨曦
一种控制晶舟升降运动的原点定位方法
一种控制晶舟升降运动的原点定位方法，包括：控制晶舟以一设定的速度参数向下运动，当原点传感器探测到舟升降机构刚遮挡原点传感器时，立即控制晶舟减速停止；然后,控制晶舟以一较慢的速度参数启动晶舟向上运动，当检测到原点脉冲上升沿...
邰晶周峰王峰刘晨曦
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一种半导体设备安全门互锁系统
本发明涉及一种半导体设备的安全门互锁系统，包括门开关单元、互锁旁路模块和处理单元；门开关单元串接在整个半导体设备供电回路中，在正常工作状态下，半导体设备的物理门开启，控制门开关单元断开；互锁旁路模块并接在门开关单元上；其...
刘晨曦张海轮付运涛
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一种基于实时系统的热处理设备温度控制装置及方法
一种基于实时系统的热处理设备温度控制装置和方法，该装置包括加热器、给加热器供电的电力供应单元、测量反应腔室温度的温度测量单元、信号处理单元、包含在电力供应单元中的功率控制单元、专用温度控制器和工艺模块控制器；当进行工艺前...
徐冬刘晨曦
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