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张海轮

作品数：27 被引量：1H指数：1
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 26篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 13篇半导体
  • 10篇半导体设备
  • 7篇氧化炉
  • 5篇立式
  • 5篇控制方法
  • 4篇碰撞
  • 4篇开关
  • 4篇控制装置
  • 4篇硅片
  • 3篇炉体
  • 3篇控制信号
  • 3篇半导体工艺
  • 3篇报警
  • 2篇电器
  • 2篇电器控制
  • 2篇电器控制系统
  • 2篇信号
  • 2篇信息发送
  • 2篇氧含量
  • 2篇用电设备

机构

  • 27篇北京七星华创...

作者

  • 27篇张海轮
  • 8篇张芳
  • 6篇周峰
  • 6篇付运涛
  • 5篇程朝阳
  • 3篇王凯
  • 2篇徐冬
  • 2篇陈亚
  • 2篇徐妍妍
  • 2篇王丽荣
  • 2篇王峰
  • 1篇张航
  • 1篇刘晨曦
  • 1篇王艾

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 2篇2017
  • 4篇2016
  • 3篇2015
  • 13篇2014
  • 2篇2013
  • 1篇2012
  • 2篇2010
共 27 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种氧化炉炉门的开关控制方法
本发明公开了一种氧化炉炉门的开关控制方法，其包括炉门到达开关动作的预设行程终点，判断对应的接近开关是否被触发；炉门向开关动作的反方向运动，判断该接近开关是否被取消触发；炉门向开关动作的正方向运动，判断该接近开关是否被触发...
张海轮周峰
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300mm立式炉温度控制系统研制被引量：1
2010年
针对300mm立式炉设备,设计、实现了一套温度控制硬件系统。硬件系统由信号采集模块、PLC模块、工控机、控制信号输出模块等组成。同时,根据工艺特性,设计了一套完整的温度控制软件系统,实现了热偶信号的采集补偿、自动温区分布、PID参数自整定、轨迹规划、斜变升温、工艺恒温等一系列系统功能。温度控制及工艺实验结果表明,该温度控制系统在可靠性、稳定性、精度等方面能够满足氧化工艺的需求,现已成功应用于300mm立式氧化炉设备。
徐冬程朝阳陈亚张海轮
关键词：立式炉温度控制PID参数自整定
上下位机通讯监控方法
本发明涉及半导体设备监控技术，公开了一上下位机通讯监控方法，步骤包括：S1、上位机向下位机发送置位信号，启动监控；S2、下位机收到所述置位信号后向上位机发送反馈信号，并在第一预设延时后进行复位，同时进行复位计时；S3、上...
周峰张芳张海轮
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立式氧化炉炉体加热控制装置
本实用新型涉及一种立式氧化炉炉体加热控制装置，包括变压器、变压器原边部件组、和副边部件组；变压器原边部件组包括：主断路器、第一接触器；主断路器一端连接厂房三相交流电压，另一端连接第一接触器，第一接触器还连接变压器的原边侧...
付运涛张海轮
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半导体工艺气路显示装置
揭示了一种半导体工艺气路显示装置。该装置包括面板和设置在面板上的气路模拟图，所述气路模拟图包括：线路，用于表示输送气体的管路；指示灯，设置在线路上，用于表示控制管路气体流通的对应电磁阀的通断状态；数字显示模块，设置在线路...
慕晓航张海轮卢言晓
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半导体设备专用配电柜
本发明公开了一种半导体设备专用配电柜，包括通断控制器件，用于实现所述配电柜配电输出通断；参量监测模块，用于对所述配电柜运行状态进行监测；现场总线通信模块，用于实现所述用电设备与控制模块之间的通信；控制模块，分别与所述现场...
张芳张海轮王丽荣慕晓航
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一种半导体设备的真空控制系统及真空控制方法
本发明公开了一种半导体设备的真空控制系统，包括抽真空单元和真空调节单元。其中所述抽真空单元包括真空泵，第一管路以及第一开关阀；所述真空泵通过所述第一管路连接至反应腔室，所述第一开关阀设于所述第一管路上。所述真空度调节单元...
张航张海轮王凯慕晓航
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温度控制系统及方法
本发明涉及一种温度控制系统及方法，该系统的感温模块感测到的温度信号通过信号采集模块滤波、放大、转换成温度数据后送入PLC，PLC通过网络与控制模块通讯以传输温度数据，控制模块各个采样通道的温度数据进行补偿，获取各个测温点...
徐冬张海轮陈亚周法福
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立式扩散炉电器控制系统及控制方法
本发明公开了一种立式扩散炉电器控制系统及控制方法，涉及半导体生产技术领域，所述系统包括：中心控制模块，用于根据传输模块和工艺模块发送来的状态信息，对所述传输模块和工艺模块进行控制；所述传输模块，用于控制硅片的传输，记录硅...
张芳张海轮慕晓航程朝阳
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氧化炉炉门的开关控制方法
本发明公开了一种氧化炉炉门的开关控制方法，其包括炉门执行开关动作，当原位传感器探测到炉门进入其触发范围，反馈第一到位信号并控制炉门停止；炉门向反方向运动，当原位传感器探测到炉门离开其触发范围，反馈未到位信号并控制炉门停止...
张海轮周峰
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