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刘晨曦
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供职机构:
北京七星华创电子股份有限公司
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文化科学
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合作作者
王峰
北京七星华创电子股份有限公司
付运涛
北京七星华创电子股份有限公司
周峰
北京七星华创电子股份有限公司
邰晶
北京七星华创电子股份有限公司
张海轮
北京七星华创电子股份有限公司
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王峰
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:CVD设备 半导体工艺设备 温控系统 微分控制 自校正调节
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付运涛
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:半导体工艺 氧化炉 半导体设备 控制装置 炉体
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周峰
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:半导体设备 氧化炉 控制方法 开关 碰撞
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邰晶
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:减速 脉冲 数字传感器 传感器 搜索
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徐冬
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:硅片 承载器 半导体 异常状态 半导体设备
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张海轮
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:半导体设备 氧化炉 控制方法 立式 硅片
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