您的位置： 专家智库 > >

付运涛

作品数：8 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 8篇中文专利

主题

  • 5篇半导体
  • 4篇半导体工艺
  • 3篇氧化炉
  • 3篇立式
  • 3篇炉体
  • 3篇控制装置
  • 3篇半导体设备
  • 2篇上位机
  • 2篇前馈
  • 2篇前馈补偿
  • 2篇温控
  • 2篇温控系统
  • 2篇接触器
  • 2篇功率输出
  • 2篇半导体工艺设...
  • 1篇断路
  • 1篇断路器
  • 1篇断路器跳闸
  • 1篇信号
  • 1篇中间温度

机构

  • 8篇北京七星华创...

作者

  • 8篇付运涛
  • 6篇张海轮
  • 3篇刘晨曦
  • 2篇王峰

年份

  • 1篇2017
  • 2篇2016
  • 1篇2015
  • 4篇2014
共 8 条 记 录，以下是 1-8
全选 清除 导出
排序方式：
上位机失效处理方法和装置
本发明公开了一种上位机失效处理方法，用于在半导体工艺期间上位机失效时对各半导体设备进行控制，该上位机失效处理方法由下位机执行，其包括：从所述上位机获取所述半导体工艺所处的工艺阶段；以及当接收上位机失效信号时，根据当前所述...
付运涛张海轮
文献传递
一种具有前馈补偿的半导体工艺设备的温控方法
一种具有前馈补偿的半导体工艺设备的温控方法，该半导体工艺设备中包括一个或多个控温区的温控，该方法包括根据半导体工艺预设的温控条件，构建温控的前馈补偿参考信号轨迹，即将整个温控升温阶段划分为包括高速升温阶段和标准升温阶段，...
王峰付运涛刘晨曦
文献传递
立式氧化炉炉体加热控制装置
本实用新型涉及一种立式氧化炉炉体加热控制装置，包括变压器、变压器原边部件组、和副边部件组；变压器原边部件组包括：主断路器、第一接触器；主断路器一端连接厂房三相交流电压，另一端连接第一接触器，第一接触器还连接变压器的原边侧...
付运涛张海轮
文献传递
一种具有前馈补偿的半导体工艺设备的温控方法
一种具有前馈补偿的半导体工艺设备的温控方法，该半导体工艺设备中包括一个或多个控温区的温控，该方法包括根据半导体工艺预设的温控条件，构建温控的前馈补偿参考信号轨迹，即将整个温控升温阶段划分为包括高速升温阶段和标准升温阶段，...
王峰付运涛刘晨曦
文献传递
一种半导体设备安全门互锁系统
本发明涉及一种半导体设备的安全门互锁系统，包括门开关单元、互锁旁路模块和处理单元；门开关单元串接在整个半导体设备供电回路中，在正常工作状态下，半导体设备的物理门开启，控制门开关单元断开；互锁旁路模块并接在门开关单元上；其...
刘晨曦张海轮付运涛
文献传递
立式氧化炉炉体加热控制装置
本发明涉及一种立式氧化炉炉体加热控制装置，包括变压器、变压器原边部件组、和副边部件组；变压器原边部件组包括：主断路器、第一接触器；主断路器一端连接厂房三相交流电压，另一端连接第一接触器，第一接触器还连接变压器的原边侧；变...
付运涛张海轮
文献传递
立式氧化炉炉体加热控制装置
本发明涉及一种立式氧化炉炉体加热控制装置，包括变压器、变压器原边部件组、和副边部件组；变压器原边部件组包括：主断路器、第一接触器；主断路器一端连接厂房三相交流电压，另一端连接第一接触器，第一接触器还连接变压器的原边侧；变...
付运涛张海轮
文献传递
上位机失效处理方法和装置
本发明公开了一种上位机失效处理方法，用于在半导体工艺期间上位机失效时对各半导体设备进行控制，该上位机失效处理方法由下位机执行，其包括：从所述上位机获取所述半导体工艺所处的工艺阶段；以及当接收上位机失效信号时，根据当前所述...
付运涛张海轮
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0