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谢德良
作品数:
3
被引量:5
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司第十三研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
刘二海
信息产业部
孙同年
信息产业部
孙聂枫
信息产业部
杨光耀
中国电子科技集团公司第十三研究...
陈旭东
中国电子科技集团公司第十三研究...
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谢德良
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杨光耀
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赵彦军
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周晓龙
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杨克武
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陈秉克
传媒
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半导体情报
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第十二届全国...
1篇
第十三届全国...
年份
1篇
2004
1篇
2002
1篇
1999
共
3
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被引量排序
时效排序
Φ50mm InP单晶片的EPD分布测量
采用国际通用的方法,测定了不同类型的用高压LEC法生长的Φ50mmInP单晶样品的整片位错分布,直观显示位错密度在晶片上的分布情况,分析了EPD分布结果和原因,说明单晶生长工艺和掺杂剂等因素对其产生影响,为今后进一步开展...
周晓龙
孙聂枫
赵彦军
杨克武
杨光耀
谢德良
刘二海
孙同年
关键词:
磷化铟
EPD
位错分布
晶体生长
文献传递
直径4″InP单晶生长研究
InP单晶材料作为最重要的化合物半导体材料之一,由于其本身具有的优越特性,使其在光纤通信、微波、毫米波、抗辐射太阳能电池、异质结晶体管等许多高技术领域有广泛的应用.由于InP基的光电器件、微电子器件近些年发展十分迅速,所...
孙聂枫
杨光耀
陈秉克
徐永强
曹立新
赵彦军
安国雨
齐志华
谢德良
刘二海
周晓龙
杨克武
赵正平
孙同年
关键词:
半导体材料
单晶生长
文献传递
不同熔体配比的InP分析研究
被引量:5
1999年
原位磷注入合成 L E C晶体生长法可分别合成得到富铟、近化学配比或富磷的 In P熔体, 并进行 L E C晶体生长。我们对不同配比程度的材料进行了 F T I R、 P L、变温 Hall等测试工作, 得到了一些相当有意义的结果, 对研究非掺杂半绝缘 In
孙聂枫
陈旭东
杨光耀
赵有文
谢德良
刘二海
刘思林
孙同年
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