刘二海 作品数:5 被引量:10 H指数:3 供职机构: 中国电子科技集团第十三研究所 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 更多>> 相关领域: 电子电信 更多>>
直径4″InP单晶生长研究 InP单晶材料作为最重要的化合物半导体材料之一,由于其本身具有的优越特性,使其在光纤通信、微波、毫米波、抗辐射太阳能电池、异质结晶体管等许多高技术领域有广泛的应用.由于InP基的光电器件、微电子器件近些年发展十分迅速,所... 孙聂枫 杨光耀 陈秉克 徐永强 曹立新 赵彦军 安国雨 齐志华 谢德良 刘二海 周晓龙 杨克武 赵正平 孙同年关键词:半导体材料 单晶生长 文献传递 Φ100mm掺硫InP单晶生长研究 被引量:6 2004年 InP以其众多的优越特性使之在许多高技术领域有广泛应用。掺硫n型InP材料用于激光器、LED、光放大器、光纤通信等光电领域。为了降低成本和适应新型器件制造的要求,本文进行了直径100mm掺硫InP单晶生长和性质研究。首先解决了大容量直接合成技术,其次解决了大直径单晶生长的关键技术,保证了一定的成晶率。采用降低温度梯度等措施,降低位错密度,提高晶体完整性。制备出100mm掺硫InP整锭<100>InP单晶和单晶片。经过测试其平均EPD小于5×104cm-2,载流子浓度大于3×1018cm-3。本文还对影响材料成晶的放肩角进行了研究,一般生长大直径单晶采用大于70°或平放肩技术都可以有效地避免孪晶的产生。 徐永强 李贤臣 孙聂枫 杨光耀 周晓龙 谢德良 刘二海 孙同年关键词:磷化铟 单晶生长 位错密度 Φ50mm InP单晶片的EPD分布测量 采用国际通用的方法,测定了不同类型的用高压LEC法生长的Φ50mmInP单晶样品的整片位错分布,直观显示位错密度在晶片上的分布情况,分析了EPD分布结果和原因,说明单晶生长工艺和掺杂剂等因素对其产生影响,为今后进一步开展... 周晓龙 孙聂枫 赵彦军 杨克武 杨光耀 谢德良 刘二海 孙同年关键词:磷化铟 EPD 位错分布 晶体生长 文献传递 富磷熔体中生长的φ100 mm掺硫InP单晶研究 被引量:5 2004年 采用原位磷注入合成法在高压单晶炉内合成富磷的磷化铟 (In P)熔体 ,并利用液封直拉法 (LEC)生长出了 1 0 0 mm In P掺硫单晶材料。对富磷单晶分别用快速扫描光荧光谱技术、腐蚀金相法和扫描电镜进行了研究。结果表明在富磷量足够大的情况下 ,晶片上会出现孔洞 ,并对孔洞周围位错的形成原因及分布进行了分析。 1 0 0 mm In P单晶的平均位错密度也没有明显的增加 ,为今后生长更大尺寸的完整 In 周晓龙 安娜 孙聂枫 徐永强 杨光耀 谢德良 刘二海 李光平 周智慧 董彦辉 孙同年关键词:位错密度 不同熔体配比的InP分析研究 被引量:5 1999年 原位磷注入合成 L E C晶体生长法可分别合成得到富铟、近化学配比或富磷的 In P熔体, 并进行 L E C晶体生长。我们对不同配比程度的材料进行了 F T I R、 P L、变温 Hall等测试工作, 得到了一些相当有意义的结果, 对研究非掺杂半绝缘 In 孙聂枫 陈旭东 杨光耀 赵有文 谢德良 刘二海 刘思林 孙同年