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邰晶

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领域

  • 3个文化科学

主题

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  • 3个脉冲
  • 3个减速
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  • 3个半导体
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  • 2个升温速率
  • 2个时滞
  • 2个前馈
  • 2个前馈补偿
  • 2个温控
  • 2个温控系统
  • 2个温区
  • 2个控制器
  • 2个半导体设备
  • 1个单输出
  • 1个电力

机构

  • 3个北京七星华创...

地区

  • 3个北京市
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周峰
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：半导体设备 氧化炉 控制方法 开关 碰撞
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刘晨曦
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：半导体工艺设备 半导体工艺 减速 脉冲 温控系统
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王峰
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：CVD设备 半导体工艺设备 温控系统 微分控制 自校正调节
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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