您的位置： 专家智库 > >

何毅

作品数：20 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
相关领域：机械工程理学文化科学自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

  • 11个机械工程
  • 10个电子电信
  • 10个理学
  • 9个自动化与计算...
  • 6个文化科学
  • 4个一般工业技术
  • 4个自然科学总论
  • 1个金属学及工艺
  • 1个航空宇航科学...
  • 1个医药卫生

主题

  • 11个物镜
  • 11个光刻
  • 11个光学
  • 10个照明
  • 10个投影物镜
  • 10个像差
  • 9个探测器
  • 9个透镜
  • 8个掩模
  • 8个入射
  • 8个视场
  • 8个数值孔径
  • 8个图像
  • 6个等份
  • 6个调节系统
  • 6个掩模板
  • 6个衍射
  • 5个信号
  • 5个折光
  • 4个镀铬

机构

  • 12个中国科学院
  • 5个中国科学院研...
  • 2个电子科技大学
  • 2个中国科学院大...
  • 1个中国科学院长...

资助

  • 4个国家科技重大...
  • 3个国家自然科学...
  • 3个江苏省高技术...
  • 2个国家高技术研...
  • 1个国防科技技术...
  • 1个“八五”国家...
  • 1个国家重点实验...
  • 1个中国科学院知...

传媒

  • 5个光电工程
  • 5个应用光学
  • 4个红外与激光工...
  • 4个光学精密工程
  • 4个激光与光电子...
  • 4个光学学报
  • 4个电子工业专用...
  • 3个激光技术
  • 3个传感技术学报
  • 3个光学仪器
  • 3个光电技术应用
  • 3个中国光学学会...
  • 2个光子学报
  • 2个光散射学报
  • 2个激光与红外
  • 2个微细加工技术
  • 2个电子设计工程
  • 2个第八届中国微...
  • 1个电视技术
  • 1个物理学报

地区

  • 12个四川省
共 12 条 记 录，以下是 1-10
林妩媚
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：投影物镜 光刻 照明系统 光焦度 像差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邢廷文
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：面形 数值孔径 光刻 光焦度 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
甘大春
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：照明系统 补偿装置 光束控制 均匀性 入射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
廖志杰
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 照明系统 测量方法 透过率 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢亮
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：照明系统 补偿装置 均匀性 掩模 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张海波
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：照明系统 光焦度 偏振 光轴 光刻技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘学峰
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：测量系统 补偿装置 波像差 光轴 剪切干涉仪
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈红丽
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：投影物镜 高分辨率 光轴 光焦度 镜片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘卫静
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光束特性 激光器 光学元件 光强分布 光强
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吕保斌
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光焦度 大数值孔径 数值孔径 成像质量 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共2页<12>
聚类工具0