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林妩媚

作品数：127 被引量：133H指数：7
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划江苏省高技术研究计划项目更多>>
相关领域：电子电信机械工程理学文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 97篇专利
  • 25篇期刊文章
  • 4篇会议论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 24篇电子电信
  • 17篇机械工程
  • 10篇理学
  • 2篇自动化与计算...
  • 2篇文化科学
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇自然科学总论

主题

  • 43篇光学
  • 41篇光刻
  • 23篇物镜
  • 18篇投影物镜
  • 17篇激光
  • 15篇照明
  • 15篇光学系统
  • 14篇光刻机
  • 14篇光束
  • 12篇照明系统
  • 12篇偏振
  • 12篇光焦度
  • 11篇衍射
  • 11篇数值孔径
  • 11篇像差
  • 11篇光学元件
  • 10篇透镜
  • 10篇光强
  • 9篇衍射光学
  • 9篇透过率

机构

  • 127篇中国科学院
  • 8篇中国科学院大...
  • 6篇中国科学院研...
  • 3篇电子科技大学
  • 3篇泰山学院
  • 1篇东华大学
  • 1篇西南石油大学
  • 1篇深圳大学
  • 1篇四川大学
  • 1篇中国科学院光...
  • 1篇成都南玻玻璃...

作者

  • 127篇林妩媚
  • 85篇邢廷文
  • 55篇廖志杰
  • 35篇张海波
  • 24篇白瑜
  • 21篇廖志远
  • 17篇范真节
  • 16篇吕保斌
  • 15篇卢亮
  • 15篇何毅
  • 14篇朱红伟
  • 14篇甘大春
  • 12篇邓超
  • 10篇刘志祥
  • 9篇刘卫静
  • 9篇邢莎莎
  • 8篇陈红丽
  • 8篇邢延文
  • 5篇陈旭南
  • 5篇余国彬

传媒

  • 9篇光电工程
  • 3篇光电技术应用
  • 3篇中国光学学会...
  • 2篇红外与激光工...
  • 2篇应用光学
  • 1篇光学精密工程
  • 1篇光学学报
  • 1篇光子学报
  • 1篇激光技术
  • 1篇传感技术学报
  • 1篇电子工业专用...
  • 1篇激光与红外
  • 1篇微细加工技术
  • 1篇光学仪器
  • 1篇第八届中国微...

年份

  • 2篇2021
  • 1篇2020
  • 5篇2019
  • 2篇2018
  • 9篇2017
  • 13篇2016
  • 14篇2015
  • 19篇2014
  • 19篇2013
  • 13篇2012
  • 3篇2011
  • 2篇2010
  • 1篇2009
  • 2篇2008
  • 8篇2006
  • 2篇2005
  • 1篇2004
  • 1篇2003
  • 3篇2002
  • 1篇2001
共 127 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种紫外级熔石英材料内羟基含量测量装置和方法
本发明公开了一种紫外级熔石英材料内羟基含量测量装置和方法，紫外级熔石英材料在深紫外激光照射下激发荧光，而荧光的强度与羟基含量有密切关系，利用该特性实现紫外级熔石英材料内羟基含量的测量，该装置结构简单，成本低，而且是非接触...
刘卫静李斌诚邢廷文林妩媚
文献传递
一种高数值孔径浸没投影物镜
本发明提供一种高数值孔径浸没投影物镜，用于将物平面的图像成像到像平面内；该浸没投影物镜，沿其光轴方向包括平行平板组、第一透镜组、反射镜组和第二透镜组；从光束入射方向顺序平行平板组具有一个平行平板，第一透镜组具有正光焦度，...
朱红伟邢廷文林妩媚白瑜廖志远邓超
文献传递
一种透过率测量准确性标定方法
本发明公开了一种透过率测量准确性标定方法，该方法用于光学元件透过率测量装置的透过率测量准确性标定中。根据光学元件基片透过率稳定的特点，测量光学元件单片及多片组合的透过率，通过比较多个基片的透过率测量值和单个基片测量结果计...
刘卫静廖志杰何毅林妩媚邢廷文
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一种光刻投影物镜偏振仿真分析方法
本发明提供一种光刻投影物镜偏振仿真分析方法，解决了高NA光刻技术中输入偏振光束经光刻投影物镜作用后光束偏振度是否满足光刻曝光系统指标要求。该偏振仿真分析方法主要包括设置仿真条件、光线追迹、数据处理、结果判断四个步骤。通过...
范真节邢廷文林妩媚廖志杰张海波
一种非球面光刻耦合物镜
本发明是一种非球面光刻耦合物镜，包括第一透镜组和第二透镜组通过机械组件按间距固定连接，在第一光轴上依次放置第一透镜组、第二透镜组和平面反射镜，平面反射镜的反射面位于第一光轴上并与第一光轴成一角度，依平面反射镜反射光线方向...
范真节邢廷文林妩媚白瑜卢亮
文献传递
一种紫外波段的高像质投影光学系统
本发明提出了一种紫外波段的高像质投影光学系统，用于将物平面的图像成像到像平面内。该紫外波段的高像质投影光学系统，沿其光轴方向包括透射组1、透射组2、透射组3、透射组4、透射组5、透射组6和透射组7，从光束入射方向依次排布...
白瑜邢廷文林妩媚朱红伟吕保斌邓超廖志远
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一种光刻照明系统中的相干因子调整装置
本发明公开了一种光刻照明系统中的相干因子调整装置，包括：反射镜组，位于照明系统前端光路上，反射镜组高精度旋转电机驱动，可以有较高的旋转精度；准直镜组位于反射镜组后的照明系统光路上；锥形棱镜组位于准直镜组的出射光路上；再经...
卢亮张海波林妩媚
一种三平面绝对测量光学面形的检测装置及方法
本发明是一种三平面绝对测量光学面形的检测装置及方法，激光器发射的光经过空间滤波器、分光镜、准直光学组件、第一夹持架上平面后产生参考光，第一夹持架上的平面和第二夹持架上的平面产生干涉，干涉光经光路返回后经过分光镜再由聚光镜...
贾辛冯建美林妩媚廖志杰邢廷文
一种光刻机中照明系统各光学组件透过率的测量装置及测量方法
一种光刻机中照明系统各光学组件透过率的测量装置及测量方法，该测量装置包括光源，能量衰减装置，光路分离元件，光路调整元件，待测光学组件，光束接收与探测单元，数据处理和控制系统。用分光镜将准分子激光光源的光束分为测试光路和参...
邢莎莎廖志杰林妩媚
文献传递
一种偏振光调制元件
本发明提供一种偏振光调制元件，解决了高NA光刻技术中光束由Y偏振光转换为径向偏振光和切向偏振光问题，所述偏振光调制元件由两块呈中心对称分布的半圆形调制元件拼接而成，每块半圆形调制元件表面边缘轮廓为连续曲线，边缘轮廓线上每...
范真节邢廷文林妩媚张海波
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