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卢亮

作品数：20 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术文化科学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 20篇中文专利

领域

  • 3篇自动化与计算...
  • 1篇机械工程
  • 1篇文化科学

主题

  • 6篇照明
  • 6篇照明系统
  • 6篇光刻
  • 4篇入射
  • 4篇均匀性
  • 4篇补偿装置
  • 3篇掩模
  • 3篇透镜
  • 3篇紫外光刻
  • 2篇等份
  • 2篇调节系统
  • 2篇调整装置
  • 2篇星敏感器
  • 2篇圆弧形
  • 2篇遮光
  • 2篇中继
  • 2篇视场
  • 2篇缩放
  • 2篇透过率
  • 2篇平面反射镜

机构

  • 20篇中国科学院

作者

  • 20篇卢亮
  • 15篇林妩媚
  • 13篇张海波
  • 12篇邢廷文
  • 11篇何毅
  • 10篇甘大春
  • 8篇廖志杰
  • 5篇魏宏刚
  • 3篇石秀梅
  • 3篇韩维强
  • 3篇李强
  • 2篇张辉
  • 2篇刘学峰
  • 2篇范真节
  • 2篇林玲
  • 2篇白瑜
  • 2篇魏红艳
  • 2篇代冬军
  • 2篇傅景能
  • 1篇廖胜

年份

  • 1篇2022
  • 1篇2020
  • 2篇2019
  • 1篇2018
  • 2篇2017
  • 1篇2016
  • 3篇2015
  • 3篇2014
  • 4篇2013
  • 2篇2012
共 20 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种针对常见的航天通信的通用自动化测试软件平台
本发明公开了一种针对常见的航天通信的通用自动化测试软件平台。此平台适用于多种常见航天通信设备的通信测试，使用通用的发送指令解析模块，实现单指令单次自动测试，单指令多次自动测试，多指令流程式自动测试，以及通用的接收指令解析...
石秀梅魏宏刚林垭南卢亮魏红艳韩维强
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一种变焦光学系统
本发明涉及一种变焦光学系统，尤其是用于光刻照明系统内的变焦光学系统，该变焦光学系统沿其光轴方向包括第一、第二、第三和第四共四个透镜组。其中第一镜透镜组L1为前固定组，具有正光焦度，第二透镜组L2为变倍组，具有正光焦度，第...
何毅张海波林妩媚邢廷文廖志杰甘大春卢亮
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一种针对航天系统单机测试快速架构测试系统的方法
本发明公开了一种针对航天系统单机测试快速架构测试系统的方法，该方法适用于针对航天系统单机测试中快速架构测试系统，采用前后台架构，实现人工测试与自动化测试结合，从而快速、全面测试。覆盖控制系统终端人工与自动结合测试，模拟遥...
石秀梅魏宏刚卢亮时全领林垭南李强韩维强廖胜
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一种非球面光刻耦合物镜
本发明是一种非球面光刻耦合物镜，包括第一透镜组和第二透镜组通过机械组件按间距固定连接，在第一光轴上依次放置第一透镜组、第二透镜组和平面反射镜，平面反射镜的反射面位于第一光轴上并与第一光轴成一角度，依平面反射镜反射光线方向...
范真节邢廷文林妩媚白瑜卢亮
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一种光刻照明系统中的相干因子调整装置
本发明公开了一种光刻照明系统中的相干因子调整装置，包括：反射镜组，位于照明系统前端光路上，反射镜组高精度旋转电机驱动，可以有较高的旋转精度；准直镜组位于反射镜组后的照明系统光路上；锥形棱镜组位于准直镜组的出射光路上；再经...
卢亮张海波林妩媚
一种照明均匀性补偿装置
一种照明均匀性补偿装置，包括沿垂直于系统光轴方向设置的第一、第二补偿组件，每个补偿组件均由多个补偿单元组成，且第一、第二补偿组件的补偿单元数相等，相应的补偿单元构成补偿单元对。各个补偿单元均能沿照明视场扫描方向运动进出照...
何毅张海波甘大春林妩媚邢廷文廖志杰卢亮
一种星敏感器内方位元素室内校准方法
本发明公开了一种星敏感器内方位元素室内校准方法。该方法基于一个由气垫平台、一维单轴转台、单星星光模拟器、星敏感器、可旋转的星敏感器工装支架以及数据处理计算机组成的校准系统，其步骤包括：校准系统建模、数据采集以及数据处理。...
傅景能卢亮魏宏刚代冬军林玲张辉李强
一种光瞳均匀性补偿装置
本发明是一种光瞳均匀性补偿装置，包括侧壁和多个补偿单元，每个补偿单元包括第一驱动器、第一驱动机构、第一遮光组件和第二遮光组件；其中：在侧壁上设置有多个导轨槽；多个补偿单元沿着侧壁外侧均匀分布，且第一遮光组件位于第一驱动器...
甘大春张海波邢廷文林妩媚刘学峰廖志杰何毅卢亮
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一种深紫外光刻照明系统中的相干因子调整系统
一种深紫外光刻照明系统中的相干因子调整系统，包括：聚光镜组，位于照明系统的照明光路上，负责将光会聚到指定位置；匀光棒，位于系统所述聚光镜组的光路上，聚光镜组会聚的光经由匀光棒的入射端入射并经由出射端出射；控制装置，用来固...
卢亮张海波廖志杰林妩媚邢廷文甘大春何毅
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一种光学系统热性能仿真方法
一种光学系统的热性能仿真方法，该方法根据光线在光学系统中的传播路径及光学元件对光能的吸收机理将光学元件的热源分为表面热源和体热源，准确仿真光学系统各元件的热源分布，对光学系统进行准确的热性能仿真。其关键在于提出准确的表面...
甘大春张海波邢廷文林妩媚何毅卢亮
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