您的位置： 专家智库 > >

张海波

作品数：47 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
相关领域：机械工程理学自动化与计算机技术自然科学总论更多>>

合作作者

领域

  • 30个机械工程
  • 28个电子电信
  • 25个理学
  • 22个自动化与计算...
  • 10个一般工业技术
  • 10个文化科学
  • 7个金属学及工艺
  • 6个医药卫生
  • 5个航空宇航科学...
  • 5个自然科学总论
  • 2个轻工技术与工...
  • 1个经济管理
  • 1个天文地球
  • 1个动力工程及工...
  • 1个电气工程
  • 1个建筑科学
  • 1个交通运输工程
  • 1个核科学技术

主题

  • 30个光学
  • 21个光束
  • 21个光学系统
  • 20个透镜
  • 20个光刻
  • 19个图像
  • 19个反射镜
  • 18个探测器
  • 18个物镜
  • 17个衍射
  • 17个像差
  • 17个激光
  • 16个照明
  • 16个红外
  • 15个投影物镜
  • 12个照明系统
  • 12个数值孔径
  • 11个掩模
  • 8个折光
  • 6个代码

机构

  • 33个中国科学院
  • 8个中国科学院研...
  • 5个电子科技大学
  • 4个中国科学院大...
  • 1个北京邮电大学
  • 1个湖南师范大学
  • 1个上海交通大学
  • 1个浙江大学
  • 1个湖南工业职业...

资助

  • 13个国家自然科学...
  • 9个国家高技术研...
  • 5个国防科技技术...
  • 5个国家科技重大...
  • 4个江苏省高技术...
  • 3个国家重点基础...
  • 3个国家重点实验...
  • 3个中国科学院知...
  • 2个中国科学院西...
  • 2个中国科学院知...
  • 1个湖南省自然科...
  • 1个四川省自然科...
  • 1个中科院创新基...
  • 1个国家杰出青年...
  • 1个“八五”国家...
  • 1个国家教育部博...
  • 1个湖南省教育科...
  • 1个湖南省教育厅...
  • 1个教育部“新世...
  • 1个四川省杰出青...

传媒

  • 15个光电工程
  • 11个红外与激光工...
  • 11个光学学报
  • 11个应用光学
  • 8个光学精密工程
  • 8个光子学报
  • 8个光电技术应用
  • 6个电子工业专用...
  • 6个中国光学学会...
  • 5个物理学报
  • 5个激光与光电子...
  • 5个激光技术
  • 5个光学仪器
  • 5个电子设计工程
  • 4个传感技术学报
  • 4个微细加工技术
  • 4个微纳电子技术
  • 4个中国光学
  • 3个光学技术
  • 3个红外技术

地区

  • 33个四川省
共 33 条 记 录，以下是 1-10
林妩媚
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：投影物镜 光刻 照明系统 光焦度 像差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邢廷文
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：面形 数值孔径 光刻 光焦度 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
廖志杰
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 照明系统 测量方法 透过率 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
甘大春
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：照明系统 补偿装置 光束控制 均匀性 入射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢亮
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：照明系统 补偿装置 均匀性 掩模 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何毅
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：视场 照明系统 光焦度 补偿装置 均匀性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
范真节
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：偏振 光刻技术 波片 视场 光学系统设计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
白瑜
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光学设计 数值孔径 光焦度 大数值孔径 红外光学系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吕保斌
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光焦度 大数值孔径 数值孔径 成像质量 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙威
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：超差 闭环控制系统 性能参数 航天产品 技术状态管理
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共4页<1234>
聚类工具0