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王斌
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11
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供职机构:
中国工程物理研究院电子工程研究所
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发文基金:
中国工程物理研究院科学技术发展基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
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兵器科学与技术
理学
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合作作者
谢国芬
中国工程物理研究院电子工程研究...
杨杰
中国工程物理研究院电子工程研究...
陈俊
中国工程物理研究院电子工程研究...
刘显学
中国工程物理研究院电子工程研究...
熊壮
中国工程物理研究院电子工程研究...
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机构
11篇
中国工程物理...
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中国工程物理...
作者
11篇
王斌
7篇
谢国芬
5篇
陈俊
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杨杰
4篇
熊壮
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刘显学
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张照云
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沈朝阳
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一种具有在线检测功能的微惯性开关
本发明涉及传感器技术领域,公开了一种具有在线检测功能的微惯性开关,该微惯性开关在第一结构层的质量块上侧以及第二结构层下侧分别设置第一极板和第二极板形成检测电容器组,通过检测检测电容器组容值从而了解第一极板和第二极板之间的...
赵宝林
张凤田
谢晋
王斌
熊壮
沈朝阳
杜连明
陈俊
谢国芬
一种双差分的全硅结构的微加速度计
本实用新型公开了一种双差分全硅结构的微加速度计及其制造方法,涉及微电子机械系统领域。本实用新型首先通过基底耦合的方式,使4个类似的斜梁‑敏感质量块结构在外部环境的作用下都发生基本一致的形变;然后通过双差分的检测方法a=k...
许蔚
杨杰
谢国芬
王斌
刘显学
唐彬
文献传递
一种具有在线检测功能的微惯性开关
本发明涉及传感器技术领域,公开了一种具有在线检测功能的微惯性开关,该微惯性开关在第一结构层的质量块上侧以及第二结构层下侧分别设置第一极板和第二极板形成检测电容器组,通过检测检测电容器组容值从而了解第一极板和第二极板之间的...
赵宝林
张凤田
谢晋
王斌
熊壮
沈朝阳
杜连明
陈俊
谢国芬
一种双差分的全硅结构的微加速度计及其制造方法
本发明公开了一种双差分全硅结构的微加速度计及其制造方法,涉及微电子机械系统领域。本发明首先通过基底耦合的方式,使4个类似的斜梁‑敏感质量块结构在外部环境的作用下都发生基本一致的形变;然后通过双差分的检测方法a=k(ΔCa...
许蔚
杨杰
谢国芬
王斌
刘显学
唐彬
文献传递
一种低应力摆式微加速度计
本发明涉及微电子机械系统技术领域,提供一种低应力摆式微加速度计,包括依次布置的上极板、中间极板和下极板。上极板和下极板均包括第一键合边框、电极区和第一应力主隔离梁,第一键合边框的内侧形成第一容置空间,电极区和第一应力主隔...
刘显学
谢国芬
张照云
杨杰
王斌
陈俊
一种扁平状旋转电机
本发明公开了一种扁平旋转电机,所述电机包括转子、定子和铁芯三部分,整个电机呈扁平形状;其中,转子由转子基板和转子永磁两部分组成;定子由定子基板和定子线圈两部分组成,定子线圈包括外环线圈和内环线圈两部分;铁芯位于定子线圈正...
屈明山
熊壮
王月
支钞
李严军
王颉
王斌
张青芝
平面放电开关的导通特性研究
2015年
基于分段连续仿真的方法,以计算得到的电爆炸时金属气体压力作为输入,将桥区的电爆炸等效成压缩气体对外膨胀做功,对一种微机电技术制造的由聚酰亚胺覆盖的平面高压开关的导通过程进行了仿真研究。仿真结果表明:高压电极出现电流的滞后时间是由触发极桥区电爆炸过程决定的,高压电极是由电爆炸金属气体膨胀直接连通的。最后制造了开关样品,测试得到的电路波形与仿真符合地很好。
庞树财
贺佳
罗斌强
王斌
关键词:
高压开关
仿真
一种低应力摆式微加速度计
本发明涉及微电子机械系统技术领域,提供一种低应力摆式微加速度计,包括依次布置的上极板、中间极板和下极板。上极板和下极板均包括第一键合边框、电极区和第一应力主隔离梁,第一键合边框的内侧形成第一容置空间,电极区和第一应力主隔...
刘显学
谢国芬
张照云
杨杰
王斌
陈俊
一种高灵敏的声学图像传感器及其制备方法
本发明公开了一种高灵敏的声学图像传感器及其制备方法,应用于声学传感技术领域,该声学图像传感器包括:亥姆霍兹型微腔超表面结构、设置于亥姆霍兹型微腔超表面结构下方的微机械超声换能器阵列以及设置于微机械超声换能器阵列下方的集成...
彭波
杨凯
王斌
刘涛
谭星
一种石英微加速度计
本申请提供一种石英微加速度计,包括两个边极板和中间极板,边极板上设置有边部键合区、电容区和边部电气隔离区以及电容引线密封区;中间极板设置于两个边极板之间;中间极板上设置有中间键合区、质量块、挠性梁、中间电极引线区、边部电...
张照云
谢国芬
赵宝林
陈俊
黄健树
王斌
沈朝阳
熊壮
杨杰
谢晋
王颉
屈名山
刘振华
王旭光
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