您的位置： 专家智库 > >

谢国芬

作品数：23 被引量：1H指数：1
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
发文基金：中国工程物理研究院科技发展基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 21篇专利
  • 2篇期刊文章

领域

  • 5篇自动化与计算...
  • 2篇机械工程
  • 2篇电气工程

主题

  • 21篇加速度
  • 18篇加速度计
  • 15篇微加速度计
  • 15篇极板
  • 7篇电容
  • 5篇温度稳定性
  • 4篇闭环
  • 4篇差分电容
  • 3篇电极
  • 3篇杨氏模量
  • 3篇速度传感器
  • 3篇自诊断
  • 3篇微电子
  • 3篇微电子机械
  • 3篇微电子机械系...
  • 3篇微机械加速度...
  • 3篇温度特性
  • 3篇温度系数
  • 3篇加速度传感器
  • 3篇非线性

机构

  • 23篇中国工程物理...

作者

  • 23篇谢国芬
  • 17篇唐彬
  • 13篇刘显学
  • 13篇杨杰
  • 11篇许蔚
  • 7篇曲兵兵
  • 7篇赵宝林
  • 7篇王斌
  • 6篇陈俊
  • 5篇熊壮
  • 5篇张照云
  • 5篇杜连明
  • 3篇沈朝阳
  • 3篇周浩
  • 2篇彭勃
  • 2篇苏伟
  • 2篇张凤田
  • 1篇席仕伟
  • 1篇王旭光
  • 1篇陈颖慧

传媒

  • 2篇微纳电子技术

年份

  • 2篇2025
  • 4篇2024
  • 2篇2023
  • 3篇2020
  • 3篇2019
  • 4篇2018
  • 2篇2017
  • 1篇2014
  • 2篇2013
共 23 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
一种电容式微机械加速度传感器
本发明公开一种电容式微机械加速度传感器。电容式微机械加速度传感器包括：上电极板、敏感芯片和下电极板，敏感芯片包括框架、固定端与框架连接的悬臂梁、与悬臂梁的自由端连接的质量块，悬臂梁及质量块均设置在框架内，悬臂梁上开设有贯...
杨杰唐彬许蔚谢国芬莫与明曲兵兵
一种电容式微机械加速度传感器
本实用新型公开一种电容式微机械加速度传感器。电容式微机械加速度传感器包括：上电极板、敏感芯片和下电极板，敏感芯片包括框架、固定端与框架连接的悬臂梁、与悬臂梁的自由端连接的质量块，悬臂梁及质量块设置在框架内，悬臂梁上开设有...
杨杰唐彬许蔚谢国芬莫与明曲兵兵
文献传递
三轴电容式微加速度计
本实用新型提供了一种三轴电容式微加速度计，该三轴电容式微加速度计包括：平面检测层、离面检测层、设置在平面检测层与离面检测层之间的基底层以及设置在离面检测层底部的衬底层；平面检测层包括在一个平面内呈正交分布的第一梳齿式微加...
唐彬张照云谢国芬刘显学熊壮许蔚苏伟彭勃杜连明
文献传递
一种双差分的全硅结构的微加速度计
本实用新型公开了一种双差分全硅结构的微加速度计及其制造方法，涉及微电子机械系统领域。本实用新型首先通过基底耦合的方式，使4个类似的斜梁‑敏感质量块结构在外部环境的作用下都发生基本一致的形变；然后通过双差分的检测方法a=k...
许蔚杨杰谢国芬王斌刘显学唐彬
文献传递
三轴电容式微加速度计
本发明提供了一种三轴电容式微加速度计，该三轴电容式微加速度计包括：平面检测层、离面检测层、设置在平面检测层与离面检测层之间的基底层以及设置在离面检测层底部的衬底层；平面检测层包括在一个平面内呈正交分布的第一梳齿式微加速度...
唐彬张照云谢国芬刘显学熊壮许蔚苏伟彭勃杜连明
文献传递
一种八梁对称硅微加速度计
本发明提供了一种八梁对称硅微加速度计。所述电容式微加速度计从上到下包括上硅电极板、敏感芯片和下硅电极板三部分。敏感芯片为“质量块—悬臂梁”微结构。悬臂梁总共八根，对称分部在质量块四周，质量块处于中间水平位置。质量块厚度和...
唐彬谢国芬席仕伟程永生张德姚明秋
文献传递
一种具有在线检测功能的微惯性开关
本发明涉及传感器技术领域，公开了一种具有在线检测功能的微惯性开关，该微惯性开关在第一结构层的质量块上侧以及第二结构层下侧分别设置第一极板和第二极板形成检测电容器组，通过检测检测电容器组容值从而了解第一极板和第二极板之间的...
赵宝林张凤田谢晋王斌熊壮沈朝阳杜连明陈俊谢国芬
一种双差分的全硅结构的微加速度计及其制造方法
本发明公开了一种双差分全硅结构的微加速度计及其制造方法，涉及微电子机械系统领域。本发明首先通过基底耦合的方式，使4个类似的斜梁‑敏感质量块结构在外部环境的作用下都发生基本一致的形变；然后通过双差分的检测方法a=k(ΔCa...
许蔚杨杰谢国芬王斌刘显学唐彬
文献传递
一种低应力摆式微加速度计
本发明涉及微电子机械系统技术领域，提供一种低应力摆式微加速度计，包括依次布置的上极板、中间极板和下极板。上极板和下极板均包括第一键合边框、电极区和第一应力主隔离梁，第一键合边框的内侧形成第一容置空间，电极区和第一应力主隔...
刘显学谢国芬张照云杨杰王斌陈俊
一种闭环微加速度计的敏感结构
本发明公开一种闭环微加速度计的敏感结构。该敏感结构包括：上电容极板、可动结构和下电容极板，可动结构位于上电容极板与下电容极板之间；可动结构包括边框、悬臂梁和可动质量块；边框包围在可动结构外侧；可动质量块的一侧通过悬臂梁固...
谢国芬唐彬杨杰曲兵兵许蔚莫与明
文献传递
全选 清除 导出
共3页<123>
聚类工具0