谢晓强
- 作品数：4 被引量：23H指数：3
- 供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信农业科学更多>>
- 反应离子刻蚀中的边缘效应及其补偿办法被引量：7
- 2005年
- 在反应离子刻蚀中,可以通过提高刻蚀功率来提高反应离子刻蚀速率,但此时由于反应气体浓度分布的影响,Si片中央和边缘的刻蚀速率存在着明显的差异,刻蚀量偏差最多可达±15%以上。本文分析了反应离子刻蚀中不均匀性的产生机理,并通过实验予以验证。进而提出了通过合理设计掩模图形,以减少边缘效应,从而得到均匀刻蚀结果的补偿方法。实验表明,这种补偿方法在刻蚀速率提高近3倍的同时,可以将不均匀性降至±5%以下,适用于对微结构的均匀性要求较高的场所。
- 谢晓强戴旭涵赵小林丁桂甫蔡炳初
- 关键词：反应离子刻蚀刻蚀速率不均匀性补偿方法反应气体合理设计
- 一种基于MEMS技术的可变光衰减器被引量：6
- 2005年
- 介绍了一种基于微电子机械系统(MEMS)技术实现的可变光衰减器,通过微电磁驱动器改变输入输出光纤之间的径向偏移量来调整衰减量。分析了偏移量与衰减量的关系,通过MEMS微细加工技术实现了器件的制作和封装,介绍了加工及装配流程。并进行了性能测试,结果表明,新型可变光衰减器的插入损耗小于1dB,动态范围约35dB,工作电压小于5V,偏振相关损耗小于0.1dB,有望为光纤网络提供一种低成本、高性能的光通信器件。
- 谢晓强戴旭涵赵小林丁桂甫蔡炳初
- 关键词：光纤网络可变光衰减器MEMS微机械
- 位错型微机械可变式光衰减器的研制
- 本文设计了一种新型的电磁驱动位错型微机械可变式光衰减器，它的工作波长为1550nm，主要由平面线圈型微驱动器、硅弹性系统和单模光纤三部分组成。其工作原理是：平面线圈型微驱动器驱动由硅悬臂梁支撑的硅弹性平台，使得安装在此平...
- 谢晓强
- 关键词：微机电系统可变式光衰减器全光网
- 位错型微机械可变光衰减器的研究被引量：10
- 2005年
- 介绍了一种基于微机械技术实现的可变光衰减器,通过微电磁驱动器改变输入输出光纤之间的径向偏移量来调整衰减量。基于波导传输理论分析确定了器件的结构参量,并通过集成电路微细加工工艺实现了器件的制作和封装。测试结果表明,该可变光衰减器的插入损耗小于1dB,动态范围约35dB,工作电压小于5V,偏振相关损耗小于0.1dB,体积为20mm×15mm×8mm,有望为全光网提供一种低成本,高性能的光通信器件。
- 谢晓强戴旭涵赵小林丁桂甫蔡炳初
- 关键词：光学器件全光网可变光衰减器微机械电磁驱动
