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赵小林
作品数:
283
被引量:572
H指数:12
供职机构:
上海交通大学
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合作作者
丁桂甫
教育部
蔡炳初
教育部
戴旭涵
教育部
陈文元
上海交通大学微纳米科学技术研究...
张卫平
上海交通大学微纳米科学技术研究...
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2004
18篇
2003
8篇
2002
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283
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MAX618在电磁微电机步进驱动中的应用
2005年
本文介绍了电磁微电机步进驱动的系统结构和MAX618升压芯片的特点,以及MAX618芯片在系统中的应用,并与其它电源升压芯片做了比较。验证了MAX618在微码轮系统中使用的有效性。
王守亮
陈佳品
李振波
高杨
陈文元
赵小林
关键词:
微电机
微机械光纤定位器
一种微机械光纤定位器,属于微机械和光学技术领域。本发明包括:定位槽和挠性夹,挠性夹设在定位槽的上方。所述的定位槽包括:单晶硅衬底和截面槽,截面槽设在单晶硅衬底上,所述的挠性夹包括:金属基座和挠性片,金属基座和挠性片设在同...
戴旭涵
赵小林
丁桂甫
蔡炳初
文献传递
金属基微机械光纤定位夹的制备方法
一种属于光学技术领域的金属基微机械光纤定位夹的制备方法,本发明在单晶硅片上开出光纤定位槽的湿法刻蚀掩膜窗口后,采用平面掩膜微电铸工艺,在光纤定位槽掩膜窗口及光纤定位槽掩膜窗口两侧的上方制备金属基微机械光纤定位夹,定位夹的...
戴旭涵
赵小林
丁桂甫
汪红
蔡炳初
文献传递
用快速傅立叶变换(FFT)求解磁性薄膜的退磁场
被引量:2
1998年
详细阐述了用快速傅立时变换法求解磁性薄膜的退磁场的原理,具体计算了实例,并与磁偶极子法作了比较。
张明生
蔡炳初
赵小林
章吉良
关键词:
快速傅立叶变换
磁性薄膜
磁学
软磁薄膜高频巨磁阻抗效应的理论模型
被引量:29
2000年
利用修正的Landau Lifshitz Gilbert方程 ,对横向单轴磁各向异性软磁薄膜在高频下的有效横向磁导率做了理论推导 ,从而得到了关于薄膜高频阻抗的理论表达式 ,并与其它理论结果作了比较。结果表明 ,给出的有效横向磁导率表达式与其它理论结果一致。详细讨论了小尺寸薄膜中退磁场对共振频率的影响 。
禹金强
周勇
蔡炳初
赵小林
关键词:
巨磁阻抗效应
软磁薄膜
电磁驱动位错型微机械可变光衰减器
电磁驱动位错型微机械可变光衰减器属于光纤通信领域。主要包括:电磁驱动线圈、底座、两段光纤、定位槽和、可动平台、磁性体和弹性体,光纤和分别固定在底座和可动平台上的定位槽中,可动平台与磁性体固定在一起,可动平台相对于底座上下...
戴旭涵
赵小林
蔡炳初
文献传递
悬空结构射频微电感及其制作工艺
一种悬空结构射频微电感及其制作工艺。属于微电子技术领域。包括:衬底、金属螺旋线圈、引线、支撑体、连接体、平面波导线,金属螺旋线圈与衬底之间设置有支撑体,支撑体一端与所述的金属螺旋线圈连接,支撑体的另一端与衬底连接,在金属...
赵小林
周勇
王西宁
戴旭涵
蔡炳初
文献传递
140GHz带状注弯折波导SU-8工艺与传输特性(英文)
被引量:1
2015年
对140GHz带状注弯折波导的色散特性和耦合阻抗进行了仿真。CST微波工作室的仿真表明该波导在140GHz时,波导内电磁波的轴向相速度为0.227c,且140GHz频率附近色散特性平坦。波导的耦合阻抗在140GHz时为5Ω左右。CST粒子工作室注波互作用的仿真结果表明该弯折波导在140GHz处的功率增益为24.6dB。该弯折波导带状电子注的设计保证了该波导的加工工艺与MEMS微加工工艺兼容。通过SU-8UV-LIGA工艺实现了对该波导的微型加工。测试结果表明该波导的反射损耗S11与插入损耗S21分别为-28dB和-1.2dB。实测的输出功率增益达到23dB。测试结果和仿真结果的一致性表明该弯折波导设计的合理性,同时也验证了多步SU-8UV-LIGA工艺可以实现对该波导的高精度加工。
谢辅强
丁桂甫
赵小林
程萍
关键词:
仿真
微加工
金属基微机械光纤定位夹的制备方法
一种属于光学技术领域的金属基微机械光纤定位夹的制备方法,本发明在单晶硅片上开出光纤定位槽的湿法刻蚀掩膜窗口后,采用平面掩膜微电铸工艺,在光纤定位槽掩膜窗口及光纤定位槽掩膜窗口两侧的上方制备金属基微机械光纤定位夹,定位夹的...
戴旭涵
赵小林
丁桂甫
汪红
蔡炳初
文献传递
基于微机电系统的射频螺线管微电感的制作方法
一种微电子技术领域的基于微机电系统的射频螺线管微电感的制作方法,采用微机电系统技术,对清洗干净的玻璃衬底进行处理,得到双面套刻对准符号,以便曝光时提高对准精度;采用准-LIGA技术和厚光刻胶工艺制备线圈和连接导体的光刻胶...
周勇
王西宁
赵小林
曹莹
高孝裕
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