蔡炳初
- 作品数：221 被引量：639H指数：14
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划上海市科学技术发展基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术电气工程更多>>
- 微机械光纤定位器
- 一种微机械光纤定位器，属于微机械和光学技术领域。本发明包括：定位槽和挠性夹，挠性夹设在定位槽的上方。所述的定位槽包括：单晶硅衬底和截面槽，截面槽设在单晶硅衬底上，所述的挠性夹包括：金属基座和挠性片，金属基座和挠性片设在同...
- 戴旭涵赵小林丁桂甫蔡炳初
- 文献传递
- 电磁型双稳态射频开关的微机械结构设计被引量：8
- 2004年
- 提出了利用电磁驱动机理优点的双稳态射频微电子机械系统(RFMEMS)开关结构形式.开关的微驱动部分由导磁的悬梁、扭梁和线圈、永磁体组成.由于采用了永磁铁单元,可以实现对开关的双稳态电磁控制,从而降低了开关的功耗.对开关的微机械结构进行力学分析的结果表明,含有加强筋结构的开关模型,在12μN力的作用下,可以使悬梁两端产生20μm的位移,此时系统的固有振动频率约为5.7kHz.
- 张永华丁桂甫赵小林马骏蔡炳初
- 关键词：射频微电子机械系统模型分析
- 使用一维纳米材料的微型气体传感器
- 一种传感器技术领域的使用一维纳米材料的微型气体传感器。本发明包括：衬底、金属底电极层、一维纳米材料层、金属支柱层、金属顶电极层。其中，金属底电极层设置在衬底上，一维纳米材料层设置在金属底电极层之上，金属支柱层设置在衬底之...
- 侯中宇蔡炳初张亚非徐东魏星
- 文献传递
- NiTi/Si复合膜微泵的制备与性能研究
- NiTi/Si复合膜微泵是由一个可形变的腔体和两个硅薄片单向阀组成.微泵采用硅微机机械技术和金硅共晶键合技术制备.其外形尺寸为6mm×6mm×1.5mm,NiTi/Si复合驱动膜的尺寸为3mm×3mm×20um.驱动膜利...
- 徐东上海交通大学“薄膜与微细技术”国家教育部重点实验室(上海)蔡炳初王莉丁桂甫周勇俞爱斌
- 关键词：形状记忆合金薄膜微驱动器微泵
- 文献传递
- 电磁驱动可调式MEMS光衰减器的光学性能分析
- 设计了一种由电磁驱动的微机械可调式光衰减器.这种光衰减器是由电磁驱动插在两对准单模光纤间隙中的挡光片来实现光功率的衰减.并对该衰减器的插入损耗和光衰减量进行了分析.
- 李文军赵小林周光亚张明生蔡炳初
- 关键词：微机电系统电磁驱动插入损耗MEMS光学性能光衰减器
- 文献传递
- 基于硅片的SMA薄膜微驱动器驱动原理与模拟被引量：2
- 1999年
- 建立了ＳＭＡ 薄膜／基片的耦合数学模型，对溅射在基片上的ＳＭＡ 薄膜产生驱动的过程进行了仿真模拟，结果表明ＳＭＡ 薄膜／ 基片的耦合驱动是双金属效应和形状记忆效应的双重结果，该驱动力比单纯双金属效应产生的驱动力大得多。该模型对于实际应用ＳＭＡ 薄膜／基片结构进行微驱动的器件设计具有理论指导意义。
- 王莉蔡炳初张明生徐东
- 关键词：微驱动器硅基片微机电系统
- 一种基于MEMS技术的可变光衰减器被引量：6
- 2005年
- 介绍了一种基于微电子机械系统(MEMS)技术实现的可变光衰减器,通过微电磁驱动器改变输入输出光纤之间的径向偏移量来调整衰减量。分析了偏移量与衰减量的关系,通过MEMS微细加工技术实现了器件的制作和封装,介绍了加工及装配流程。并进行了性能测试,结果表明,新型可变光衰减器的插入损耗小于1dB,动态范围约35dB,工作电压小于5V,偏振相关损耗小于0.1dB,有望为光纤网络提供一种低成本、高性能的光通信器件。
- 谢晓强戴旭涵赵小林丁桂甫蔡炳初
- 关键词：光纤网络可变光衰减器MEMS微机械
- 新型的形状记忆合金/硅薄膜微驱动器被引量：12
- 1999年
- 介绍了一种用硅微加工技术制作的ＮｉＴｉ／Ｓｉ 薄膜结构的双向微驱动器。它利用ＮｉＴｉ 形状记忆合金薄膜（ＳＭＡ） 大的相变回复应力和Ｓｉ 衬底膜的反偏置力产生有一定位移量的双向运动。对ＮｉＴｉ 薄膜进行合理的图形化后使得驱动器位移量增大，双向效应显著，响应速度提高。同时图形化后的ＮｉＴｉ 膜也是加热电阻，使驱动结构简单，所需功率减少。驱动器实际驱动面积为３ ×３ｍ ｍ２ 厚度为２０μｍ 。可产生的最大位移为５０μｍ ，最高驱动频率可达１００Ｈｚ。驱动功率可减小到２００ｍ Ｗ。经过１０００ 万次振动后，驱动膜无开裂，性能正常。它已被成功的应用于压缩型微泵，该泵最大流量达３４０μＬ／ｍｉｎ 。
- 徐东蔡炳初丁桂甫王莉
- 关键词：形状记忆合金微驱动器硅微机电系统
- 微型人类呼吸传感器
- 一种传感器技术领域的微型人类呼吸传感器。本发明包括：衬底、微电极或者其阵列层，微电极或者其阵列层设置在衬底上，微电极或者其阵列层中，微电极或者其阵列的阴阳两极由空气间隔相互隔离。本发明灵敏度高，信噪比高，不需要接触人体，...
- 侯中宇张亚非蔡炳初徐东魏星
- 文献传递
- 镍钛记忆合金薄膜的制备与结构被引量：2
- 1997年
- 采用射频溅射法成功地制备了NiTi形状记忆合金薄膜。研究了不同成分靶材对膜最终成分的影响。电子探针和俄歇能谱仪测定结果表明，在Ni（50at％）／Ti（50at％）的靶材上添入适量的Ti，可以获得Ni／Ti为1：1的薄膜。经晶化处理后，其结构为B2，用电阻法和差热分析确定TAs，TAf，TMs和TMf点分别为22，44，30，60℃。观察到了形状记忆现象。
- 徐东戚震中李依群蔡炳初漆璇郭亮江伯鸿
- 关键词：形状记忆合金射频磁控溅射
