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谭松生

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇激光
  • 1篇激光再结晶
  • 1篇感器
  • 1篇SOM
  • 1篇传感
  • 1篇传感器
  • 1篇传感器研究

机构

  • 1篇中国科学院上...

作者

  • 1篇谭松生
  • 1篇林成鲁
  • 1篇陈莉芝
  • 1篇邹世昌
  • 1篇邢昆山
  • 1篇许学敏

传媒

  • 1篇电子学报

年份

  • 1篇1989
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
激光再结晶SOM材料及压力传感器研究
1989年
用CW Ar^+激光对B^+注入(60keV,5×10^(15)cm^(-2))非晶硅SOM材料进行辐照再结晶,获得了高灵敏度的压阻材料,其GF在30左右。结晶后的晶粒增大到10μm×40μm,且杂质分布均匀,电学性质大大提高。用该材料制备的桥路压力传感器,灵敏度为6mV/V bar,具有良好的输出线性度。
邢昆山许学敏林成鲁陈莉芝谭松生邹世昌
关键词：传感器SOM
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共1页<1>
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