2025年2月6日
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王进
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供职机构:
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
理学
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合作作者
张伟
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
吴亚宁
上海大学材料科学与工程学院
金晓盛
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
张学敏
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
黄健
上海大学材料科学与工程学院
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张伟
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:等离子体 高温影响 高深宽比 光伏电池 基板
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所获资助
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吴亚宁
供职机构:上海大学材料科学与工程学院
研究主题:AR 高深宽比 刻蚀 石英 等离子体
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黄健
供职机构:上海大学
研究主题:金刚石薄膜 紫外光探测器 升华 碲锌镉 纳米金刚石薄膜
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张学敏
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:石墨烯 掩模 晶圆 晶向 微反射镜
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金晓盛
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:AR 高深宽比 刻蚀 石英 等离子体
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供职机构
所获资助
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王逸群
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:电子束 磁性物质 磁场方向 表面等离激元 掩模
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