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周恩源

作品数：1 被引量：6H指数：1
供职机构：北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

领域

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机构

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资助

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  • 3个北京市
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曹振
供职机构：北京理工大学
研究主题：极紫外 投影光刻物镜 放大倍率 反射镜 光学设计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘丽辉
供职机构：北京理工大学
研究主题：光刻物镜 光刻机 波像差 投影物镜 平面反射镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘岩
供职机构：北京理工大学
研究主题：投影光刻物镜 数值孔径 投影物镜 光学设计 光刻物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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