2025年1月23日
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冯小强
作品数:
8
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H指数:2
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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合作作者
关宏武
中国电子科技集团公司第四十五研...
宋伟峰
中国电子科技集团公司第四十五研...
赵永进
中国电子科技集团公司第四十五研...
舒福璋
中国电子科技集团公司第四十五研...
杜建科
中国电子科技集团公司第四十五研...
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关宏武
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:静电 半导体 掩模版 机械手 换版
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舒福璋
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:静电 半导体 半导体制造 刻蚀工艺 均匀性
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赵永进
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:太阳能 太阳能电池 全自动 齿轮传动 太阳跟踪装置
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宋伟峰
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:半导体 清洗工艺 RCA 晶圆 清洗机
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祝福生
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:湿法 全自动 机械手 硅片 污染物
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段成龙
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:湿法刻蚀 CAE分析 CAE 化学清洗 全自动
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杜建科
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:单晶圆 喷头 兆声清洗
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刘永进
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:光刻版 集成电路 全自动 单晶圆 喷头
发表作品
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宋婉贞
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:全自动 太阳能 伺服控制 PLC 半导体设备
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宋文超
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:全自动 光刻版 半导体 自动设备 清洗机
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