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李春雷
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供职机构:
北京七星华创电子股份有限公司
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相关领域:
理学
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合作作者
赵星梅
北京七星华创电子股份有限公司
兰云峰
北京七星华创电子股份有限公司
彭文芳
北京七星华创电子股份有限公司
孙月峰
北京七星华创电子股份有限公司
常青
北京七星华创电子股份有限公司
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赵星梅
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:立式 氧化炉 炉体 硅片 晶片
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常青
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:前驱物 硅片表面 化学吸附 温度梯度 真空系统
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兰云峰
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:半导体 卡紧 自定位 瓶体 锐角
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孙月峰
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:硅衬底 光电转换效率 钝化膜 铝源 三氧化二铝
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彭文芳
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:前驱物 硅片表面 化学吸附 温度梯度 真空系统
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王启元
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:衬底 薄膜生长 钝化 气体加热 三氧化二铝
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陈添明
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:衬底 液体表面张力 半导体集成电路 硅片 涡流
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何金正
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:出气 工艺过程 开度 均匀性 自扩散
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刘东
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:硅片表面 化学吸附 温度梯度 前驱物 真空系统
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