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常青

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇中文专利

主题

  • 5篇前驱物
  • 3篇真空系统
  • 3篇温度梯度
  • 3篇化学吸附
  • 3篇硅片
  • 3篇硅片表面
  • 2篇预热
  • 2篇进料
  • 2篇控制单元
  • 2篇基板
  • 2篇沉积速率
  • 2篇抽气
  • 1篇生产率
  • 1篇门板
  • 1篇模块化
  • 1篇可扩展
  • 1篇机械设计

机构

  • 6篇北京七星华创...

作者

  • 6篇常青
  • 4篇彭文芳
  • 3篇刘东
  • 3篇潘龙
  • 3篇李春雷
  • 2篇赵星梅

年份

  • 1篇2016
  • 2篇2014
  • 3篇2012
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
一种用于原子层薄膜沉积的反应装置及方法
本发明提供一种用于原子层薄膜沉积的反应装置及方法，属太阳能电池制造装配和加工技术领域，包括依次连接的反应沉积腔、反应排空腔和真空系统；所述反应沉积腔内包括硅片承载单元、加热单元、前驱物进料单元、吹扫气体进气单元；本发明通...
潘龙刘东彭文芳常青
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可扩展的反应腔室
本实用新型公开了一种可扩展的反应腔室，涉及机械设计技术领域，所述反应腔室包括：前门板和后门板，所述前门板和后门板之间设有至少一个模块化腔室。本实用新型通过在前门板、后门板和所述前门板和后门板之间设有的至少一个模块化腔室上...
彭文芳李春雷常青克雷格·伯考
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用于实现原子层沉积工艺的设备
本发明公开了一种用于实现原子层沉积工艺的设备，涉及原子层沉积技术领域，所述设备包括：反应模块，所述反应模块进一步包括：反应腔室、加热单元、预热腔室、预热单元、前驱物进料单元、抽气单元及控制单元；预热单元，用于对预热腔室中...
李春雷克雷格·伯考盛金龙赵星梅常青
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用于原子层薄膜沉积的反应装置
本实用新型提供一种用于原子层薄膜沉积的反应装置，属太阳能电池制造装配和加工技术领域，包括依次连接的反应沉积腔、反应排空腔和真空系统；所述反应沉积腔内包括硅片承载单元、加热单元、前驱物进料单元、吹扫气体进气单元；本实用新型...
潘龙刘东彭文芳常青
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一种用于原子层薄膜沉积的反应装置及方法
本发明提供一种用于原子层薄膜沉积的反应装置及方法，属太阳能电池制造装配和加工技术领域，包括依次连接的反应沉积腔、反应排空腔和真空系统；所述反应沉积腔内包括硅片承载单元、加热单元、前驱物进料单元、吹扫气体进气单元；本发明通...
潘龙刘东彭文芳常青
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用于实现原子层沉积工艺的设备
本实用新型公开了一种用于实现原子层沉积工艺的设备，涉及原子层沉积技术领域，包括：反应模块，所述反应模块进一步包括：反应腔室、加热单元、预热腔室、预热单元、前驱物进料单元、抽气单元及控制单元；预热单元，用于对预热腔室中的基...
李春雷克雷格·伯考盛金龙赵星梅常青
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