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樊海洋

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合作作者

主题

  • 2个热膨胀
  • 2个热膨胀系数
  • 2个接触面积
  • 2个基底
  • 2个基底处理
  • 2个基底压力
  • 2个加热板
  • 2个半导体
  • 2个薄膜沉积技术
  • 2个传送装置
  • 1个空腔
  • 1个成膜

机构

  • 2个北京京东方光...

地区

  • 2个北京市
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陈万海
供职机构：北京京东方光电科技有限公司
研究主题：薄膜沉积技术 传送装置 成膜 半导体 加热板
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘远宏
供职机构：北京京东方光电科技有限公司
研究主题：传送装置 薄膜沉积技术 半导体 加热板 基底压力
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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