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李广义

作品数：35 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>

合作作者

领域

  • 8个自动化与计算...
  • 5个文化科学
  • 3个电子电信
  • 2个金属学及工艺
  • 2个机械工程
  • 2个电气工程
  • 2个一般工业技术
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  • 1个天文地球
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  • 1个医药卫生
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主题

  • 8个机械手
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  • 7个晶圆
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  • 6个自动化
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  • 4个铜互连
  • 4个内部环境
  • 4个空气调节
  • 4个空气洁净度
  • 4个监测系统

机构

  • 9个北京七星华创...

资助

  • 1个国家科技重大...

传媒

  • 1个半导体技术
  • 1个电子工业专用...

地区

  • 9个北京市
共 9 条 记 录，以下是 1-9
赵宏宇
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：晶圆 机械手 支撑脚 占地面积 半导体工艺设备
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
裴立坤
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：储液罐 机械手 补液 晶圆 模块化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐俊成
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：硅片 密封 支撑脚 机械手 导轨
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张豹
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：卡盘 夹持 硅片 晶片 机械手
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙文婷
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：硅片 半导体工艺设备 浮尘 风机机组 监测系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王营营
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：储液罐 紧固件 螺母 存储装置 超纯水
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何金群
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：储液罐 补液 循环泵 气动阀 管路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高浩
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：导轨 机械手 密封 硅片 存取
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴仪
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：晶片 卡盘 晶圆 夹持 半导体晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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