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段生权

作品数:10 被引量:19H指数:2
供职机构:清华大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金北京市自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信化学工程理学更多>>

领域

  • 11个电子电信
  • 9个理学
  • 8个电气工程
  • 6个医药卫生
  • 5个经济管理
  • 5个生物学
  • 5个化学工程
  • 5个金属学及工艺
  • 4个交通运输工程
  • 4个环境科学与工...
  • 4个一般工业技术
  • 3个石油与天然气...
  • 3个机械工程
  • 3个自动化与计算...
  • 2个哲学宗教
  • 2个天文地球
  • 2个动力工程及工...
  • 2个建筑科学
  • 2个文化科学
  • 2个历史地理

主题

  • 12个无显影气相光...
  • 12个光刻
  • 11个光刻胶
  • 8个氧化硅
  • 8个二氧化硅
  • 7个树脂
  • 7个氢氟酸
  • 7个分辨率
  • 6个微电子
  • 6个刻蚀
  • 5个氮化
  • 5个氮化硅
  • 5个曝光量
  • 4个电机
  • 4个抗蚀剂
  • 4个刻蚀深度
  • 4个甲胺
  • 4个甲胺基
  • 4个光敏性
  • 3个动态参数

机构

  • 13个清华大学
  • 2个教育部
  • 1个北京大学
  • 1个辽宁师范大学
  • 1个中国科学院
  • 1个中国医学科学...
  • 1个中国协和医科...
  • 1个中国医学科学...
  • 1个国家自然科学...
  • 1个中国医学科学...
  • 1个北京回龙观医...
  • 1个北京协和医学...
  • 1个苏州广济医院

资助

  • 13个国家自然科学...
  • 7个北京市自然科...
  • 4个国家重点基础...
  • 3个国家高技术研...
  • 2个国家科技支撑...
  • 2个国家教育部博...
  • 1个国防科技技术...
  • 1个国家科技型中...
  • 1个国家社会科学...
  • 1个基础研究重大...
  • 1个美国中华医学...
  • 1个清华大学基础...
  • 1个中国博士后科...
  • 1个北京市科技计...
  • 1个国家科技重大...
  • 1个辽宁省教育厅...
  • 1个中央级公益性...
  • 1个辽宁省高等学...
  • 1个北京希望马拉...
  • 1个国家重点实验...

传媒

  • 7个高分子通报
  • 6个感光科学与光...
  • 6个高分子学报
  • 5个半导体技术
  • 4个清华大学学报...
  • 4个电力电子技术
  • 3个高等学校化学...
  • 3个中国电工技术...
  • 2个科学通报
  • 2个化学通报
  • 2个硅酸盐学报
  • 2个涂料工业
  • 2个化学学报
  • 2个化工进展
  • 2个电气技术
  • 2个国际学术动态
  • 2个电力电子
  • 2个2001年全...
  • 2个2006中国...
  • 2个2008年中...

地区

  • 11个北京市
  • 1个辽宁省
  • 1个广东省
13 条 记 录,以下是 1-10
洪啸吟
供职机构:清华大学
研究主题:无显影气相光刻 涂料 光固化 光刻 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王培清
供职机构:清华大学
研究主题:无显影气相光刻 光刻胶 晶闸管 刻蚀 曝光量
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢建平
供职机构:清华大学
研究主题:无显影气相光刻 曝光量 光刻 甲胺基 刻蚀深度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王小兵
供职机构:中国医学科学院肿瘤医院
研究主题:巨噬细胞抑制因子-1 肿瘤标志物 患者血清 肺癌 血清巨噬细胞
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张斌
供职机构:清华大学
研究主题:多媒体信号处理 半导体二极管 二极管 信源 新闻事件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈永麒
供职机构:清华大学
研究主题:无显影气相光刻 半导体二极管 成膜物质 氮化硅 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李钟哲
供职机构:清华大学理学院化学系
研究主题:二氧化硅 无显影气相光刻 氟化氢 气相 光刻材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘丹
供职机构:清华大学
研究主题:孩子 父母 家庭教育 女儿 儿童
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈明
供职机构:清华大学
研究主题:产氢 蓝藻 光刻 太阳能 点对点
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
武增华
供职机构:清华大学深圳研究生院
研究主题:钒电池 煤 液流电池 全钒液流电池 固硫剂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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