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段成龙
作品数:
18
被引量:80
H指数:6
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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相关领域:
电子电信
机械工程
自动化与计算机技术
金属学及工艺
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合作作者
舒福璋
中国电子科技集团公司第四十五研...
宋伟峰
中国电子科技集团公司第四十五研...
关宏武
中国电子科技集团公司第四十五研...
江进国
中国地质大学机械与电子信息学院
曹明
中国地质大学机械与电子信息学院
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舒福璋
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:静电 半导体 半导体制造 刻蚀工艺 均匀性
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所获资助
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关宏武
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:静电 半导体 模态分析 阻尼 太阳能
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所获资助
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宋伟峰
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:半导体 清洗工艺 RCA 晶圆 清洗机
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祝福生
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:湿法 全自动 机械手 硅片 污染物
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冯小强
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:太阳能 半导体 太阳能电池 单晶圆 喷头
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张萌
供职机构:中国地质大学机械与电子信息学院
研究主题:钻杆 液压 滑块 绞车 自动化
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刘桂芹
供职机构:中国地质大学
研究主题:有限元法 测试分析 变量泵 钻机 机械工程
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曹明
供职机构:中国地质大学
研究主题:OBJECTARX 有限元法 测试分析 变量泵 钻机
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江进国
供职机构:中国地质大学(武汉)
研究主题:钻机 钻杆 绞车 煤气泄漏 随动
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陈平
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:太阳能 氮气 半导体生产 干燥装置 多线切割机
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