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蒋新元

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
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合作作者

领域

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地区

  • 4个上海市
共 4 条 记 录，以下是 1-4
李钧
供职机构：中国科学院上海原子核研究所
研究主题：离子注入机 离子源 超薄有源层 低能 掺杂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
关安民
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子注入 离子注入机 低能 硅 SI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙义林
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子源 离子注入 离子束 溅射 离子束辅助沉积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王渭源
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 传感器 微电子机械系统 微机械器件 金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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