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卢亮
作品数:
20
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供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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相关领域:
自动化与计算机技术
文化科学
机械工程
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合作作者
林妩媚
中国科学院光电技术研究所
张海波
中国科学院光电技术研究所
邢廷文
中国科学院光电技术研究所
何毅
中国科学院光电技术研究所
甘大春
中国科学院光电技术研究所
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林妩媚
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:投影物镜 光刻 照明系统 光焦度 像差
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张海波
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:照明系统 光焦度 偏振 光轴 光刻技术
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所获资助
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邢廷文
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:面形 数值孔径 光刻 光焦度 投影物镜
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相关人物
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所获资助
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何毅
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:视场 照明系统 光焦度 补偿装置 均匀性
发表作品
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所获资助
研究领域
甘大春
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:照明系统 补偿装置 光束控制 均匀性 入射
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供职机构
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廖志杰
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 照明系统 测量方法 透过率 光刻
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魏宏刚
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:星敏感器 产品开发周期 光学模式识别 通信测试 数值模拟
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石秀梅
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:产品开发周期 通信测试 闭环控制系统 总线通信 自动化软件
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韩维强
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:反射镜 星敏感器 驱动线圈 测量系统 BRDF
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李强
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:点目标 干扰物 光学系统 内方位元素 模拟器
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