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2025年1月28日星期二

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裴召辉: 作品数：19 被引量：0H指数：0; 供职机构：清华大学更多>>; 相关领域：电子电信文化科学轻工技术与工程更多>>

合作作者

何永勇清华大学
路新春清华大学
梅赫赓清华大学
雒建斌清华大学
王同庆清华大学

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领域

17个电子电信
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12个金属学及工艺
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8个轻工技术与工...
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4个经济管理
4个石油与天然气...
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3个自然科学总论
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主题

17个晶圆
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15个化学机械抛光
14个机械手
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13个组件
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11个装卸
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8个电涡流
8个旋转接头
7个导轨
7个电路
7个电涡流传感器
7个抛光工艺
5个弹性环
5个登录
5个电机
4个氮化
4个挡板

机构

19个清华大学
2个吉林大学
1个北京工商大学
1个东北大学
1个复旦大学
1个东北工学院
1个东南大学
1个北京科技大学
1个东北师范大学
1个江苏大学
1个辽宁大学
1个西南交通大学
1个上海交通大学
1个西安冶金建筑...
1个华南理工大学
1个中国科学院
1个辽宁石油化工...
1个沈阳工业大学
1个香港城市大学
1个国家自然科学...

资助

11个国家自然科学...
8个中国博士后科...
8个国家重点实验...
7个国家重点基础...
5个国家杰出青年...
5个国家科技重大...
5个创新研究群体...
4个国家高技术研...
4个中央高校基本...
3个教育部跨世纪...
3个教育部“新世...
3个上海市科委科...
2个北京市自然科...
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2个教育部留学回...
2个山东省自然科...
2个上海市科委纳...
2个北京市优秀人...
2个北京市教委重...
2个国家教育部博...

传媒

7个摩擦学学报（...
6个科学通报
6个机械工程学报
6个中国基础科学
5个润滑与密封
4个清华大学学报...
4个中国机械工程
4个中国表面工程
4个第八届全国摩...
3个仪器仪表学报
3个物理学报
3个机械强度
3个华中科技大学...
3个功能材料
2个光学精密工程
2个农业工程学报
2个力学与实践
2个锻压技术
2个Chines...
2个科技导报

地区

19个北京市

共 19 条记录，以下是 1-10

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路新春: 供职机构：清华大学; 研究主题：化学机械抛光晶圆抛光液抛光垫抛光; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

何永勇: 供职机构：清华大学; 研究主题：晶圆故障诊断化学机械抛光抛光液旋转机械; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

梅赫赓: 供职机构：清华大学; 研究主题：晶圆刷洗抛光液毛刷侧板; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

雒建斌: 供职机构：清华大学; 研究主题：化学机械抛光润滑薄膜润滑抛光液纳米级; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

许振杰: 供职机构：清华大学; 研究主题：晶圆修整器机械手抛光液抛光; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

沈攀: 供职机构：清华大学; 研究主题：晶圆修整器化学机械抛光机械手修整; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

王同庆: 供职机构：清华大学; 研究主题：化学机械抛光晶圆抛光液 CMP 抛光垫; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

赵德文: 供职机构：清华大学; 研究主题：化学机械抛光解析解晶圆基板拉拔; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

郭振宇: 供职机构：清华大学; 研究主题：晶圆干燥装置组件装载装置刷洗; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

张连清: 供职机构：清华大学; 研究主题：侧板基板修整器机械手装卸; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

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