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李昌荣
作品数:
4
被引量:3
H指数:1
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
上海市科学技术发展基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
医药卫生
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合作作者
郑志宏
中国科学院上海微系统与信息技术...
张峰
中国科学院上海微系统与信息技术...
柳襄怀
华东师范大学信息科学技术学院电...
王曦
中国科学院上海微系统与信息技术...
王向晖
华东师范大学理工学院物理学系
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郑志宏
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子束辅助沉积 铪 离子注入 离子束增强沉积 性能研究
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所获资助
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柳襄怀
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子束 离子束增强沉积 离子束辅助沉积 离子注入 电子发射
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王曦
供职机构:清华大学
研究主题:衬底 离子注入 SOI 硅 绝缘体
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张峰
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:注氧隔离 SOI 高温退火 波导 反应离子刻蚀
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王向晖
供职机构:华东师范大学
研究主题:大学物理课程 大学物理 理工学科 教学基本要求 动物
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俞柳江
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:人工心脏瓣膜 血液相容性 安全性 生物材料 离子注入
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徐静芳
供职机构:华东师范大学
研究主题:硅 冷阴极 场发射 场发射阵列 场发射显示器
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