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张正元

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：信息产业部更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 3个电子电信
  • 3个自动化与计算...

主题

  • 3个多晶
  • 3个多晶硅
  • 3个压力传感器
  • 3个真空微电子
  • 3个真空微电子压...
  • 3个抛光
  • 3个批量化
  • 3个批量化生产
  • 3个力传感器
  • 3个感器
  • 3个传感
  • 3个传感器
  • 2个应力
  • 2个晶片
  • 2个键合
  • 2个硅
  • 1个入网
  • 1个束管式
  • 1个中心束管式
  • 1个外延片

机构

  • 3个信息产业部

传媒

  • 3个第五届全国微...
  • 2个第十二届全国...

地区

  • 3个陕西省
共 3 条 记 录，以下是 1-3
陈红
供职机构：信息产业部
研究主题：层绞式 压力传感器 光纤带 光缆 多晶硅
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冯建
供职机构：信息产业部
研究主题：硅 SOI材料 压力传感器 键合 多晶硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨国渝
供职机构：信息产业部
研究主题：硅 压力传感器 键合 多晶硅 晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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