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丁青

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程金属学及工艺更多>>

合作作者

领域

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机构

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资助

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地区

  • 5个上海市
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陆玉萍
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：湿度传感器 I-MO FET 聚酰亚胺薄膜 聚酰亚胺
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李生强
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：温度传感器 传感器 磁控溅射 测量电路 航天
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王渭源
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 传感器 微电子机械系统 微机械器件 金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
骆如枋
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：湿度传感器 传感器 露点 氧化铝 高聚物
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙承龙
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：传感器 温度传感器 硅 RIE 反应离子深刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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