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文献类型

  • 4篇专利
  • 2篇期刊文章

领域

  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 4篇感器
  • 4篇传感
  • 4篇传感器
  • 3篇温度传感器
  • 2篇电极
  • 2篇电阻
  • 2篇电阻温度系数
  • 2篇运算放大器
  • 2篇同相
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  • 2篇金属电极
  • 2篇勘测
  • 2篇溅射
  • 2篇航天
  • 2篇放大器
  • 2篇测量电路
  • 2篇磁控
  • 2篇磁控溅射
  • 1篇电解液
  • 1篇数据处理

机构

  • 6篇中国科学院上...

作者

  • 6篇李生强
  • 3篇戴仁慈
  • 2篇陈国明
  • 1篇孙承龙
  • 1篇丁青
  • 1篇陆荣庆

传媒

  • 1篇传感器技术
  • 1篇应用科学学报

年份

  • 3篇1991
  • 2篇1990
  • 1篇1989
6 条 记 录,以下是 1-6
排序方式:
温度传感器的铂薄膜制造方法
本发明涉及一种铂温度传感器的铂薄膜制造方法,它采用高频溅射或磁控溅射,以铂为靶,在氩氧气氛中向抛光陶瓷基片上溅射。溅射沉积的铂膜在空气中以1-5℃/分速度升温或随炉升温,每隔50-100℃保温1小时,直至1000-120...
武蕴忠李生强
倾斜度测量装置
本发明是一种倾斜度测量装置,特别是一种倾斜度测量传感器及可补偿温度变化的测量电路。倾斜度测量传感器是由绝缘材料制成的、二个鼓面内壁有三个金属电极的鼓状容器,里面充有一半体积的导电液,该传感器的输出信号输入到测量电路运算放...
戴仁慈李生强陈国明
倾斜度测量装置
本发明是一种倾斜度测量装置,特别是一种倾斜度测量传感器及可补偿温度变化的测量电路。倾斜度测量传感器是由绝缘材料制成的、二个鼓面内壁有三个金属电极的鼓状容器,里面充有一半体积的导电液,该传感器的输出信号输入到测量电路运算放...
戴仁慈李生强陈国明
文献传递
一代新型温度传感器
1991年
本文讨论了铂薄膜温度传感器的设计、制造工艺、膜料与衬底及封装材料的关系。报道了研制成的薄膜铂电阻性能全面符合IEC751标准。
武蕴忠孙承龙徐梅芳褚卫兵丁青李生强
关键词:温度传感器传感器TCR
温度传感器的铂薄膜制造方法
本发明涉及一种铂薄膜电阻温度传感器的铂薄膜制造方法。它采用高频溅射或磁控溅射,以铂为靶,在氩——氧气氛下向抛光陶瓷基片上溅射。其中,溅射气氛氩——氧混合气体中的氧、氩体积比为氧5—30%,其余为氩。溅射后的铂膜在空气中阶...
武蕴忠李生强
文献传递
电解液式倾斜传感器及其数据处理系统被引量:7
1989年
本文介绍了电解液式倾斜传感器的结构、工艺、工作电路、温度特性、温度补偿以及数据处理系统.实验指出:经温度补偿后整个系统的误差<2%,灵敏度优于10^(-2)角秒.
戴仁慈李生强胡嘉增林绵中陆荣庆
关键词:传感器数据处理
共1页<1>
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