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武永超
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中国电子科技集团公司第四十六研究所
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电子电信
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合作作者
赵权
中国电子科技集团公司第四十六研...
杨洪星
中国电子科技集团公司第四十六研...
王云彪
中国电子科技集团公司第四十六研...
刘春香
中国电子科技集团公司第四十六研...
陈亚楠
中国电子科技集团公司第四十六研...
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赵权
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:抛光片 锗 单晶片 表面粗糙度 清洗技术
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王云彪
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:抛光片 锗 表面粗糙度 超薄 磷化铟
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杨洪星
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:锗 单晶片 抛光片 晶片 表面粗糙度
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陈亚楠
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 抛光 清洗技术 硅抛光片 抛光垫
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刘春香
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 单晶片 粗糙度 超薄 清洗技术
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张伟才
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 抛光片 化学机械抛光 机械强度 IPA
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陆峰
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:表面活性剂 锗 P型 硅片 金属
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林健
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:单晶片 砷化镓 表面粗糙度 磷化铟 超薄
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佟丽英
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:单晶片 抛光片 电阻率 硅单晶 少子寿命
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宋晶
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:一致性 表面粗糙度 光散射 硅抛光片 IPA
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