您的位置： 专家智库 > >

李霖

作品数：6 被引量：8H指数：2
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

合作作者

领域

  • 7个电子电信
  • 2个机械工程
  • 2个电气工程

主题

  • 6个光刻
  • 6个光刻机
  • 4个半导体
  • 3个系统设计
  • 3个工作台
  • 3个非接触
  • 3个测量系统
  • 2个运动控制
  • 2个找平
  • 2个伺服
  • 2个曝光机
  • 2个全自动
  • 2个控制系统
  • 2个控制研究
  • 2个机械手
  • 2个分辨率
  • 2个半导体设备
  • 1个弹簧
  • 1个导轨
  • 1个导体

机构

  • 7个中国电子科技...
  • 1个华中科技大学
  • 1个北京中电科电...

传媒

  • 7个电子工业专用...
  • 1个电子工艺技术
共 7 条 记 录，以下是 1-7
周庆奎
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：光刻机 找平 曝光机 分辨率 控制研究
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨建章
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：光刻机 测量系统 XY平台 显微镜 调焦机构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张云鹏
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：PID算法 伺服系统 程序控制 测量系统 LED光源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宫晨
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：全自动 引线键合机 图像映射 以太网 PLC
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
贾亚飞
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：测量系统 光刻机 非接触 仿真 光强
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘玄博
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：光刻机 直流伺服电机 控制系统 运动控制 宽禁带半导体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨树文
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：工作台 误差分析 自动切割机 传动误差 传动
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0