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陈红丽
作品数:
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供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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相关领域:
自动化与计算机技术
理学
电子电信
机械工程
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合作作者
邢廷文
中国科学院光电技术研究所
林妩媚
中国科学院光电技术研究所
吕保斌
中国科学院光电技术研究所
冉英华
中国科学院光电技术研究所
廖志杰
中国科学院光电技术研究所
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邢廷文
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:面形 数值孔径 光刻 光焦度 投影物镜
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供职机构
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林妩媚
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:投影物镜 光刻 照明系统 光焦度 像差
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供职机构
所获资助
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吕保斌
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光焦度 大数值孔径 数值孔径 成像质量 投影物镜
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供职机构
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廖志杰
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 照明系统 测量方法 透过率 光刻
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冉英华
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:高分辨率 光轴 光焦度 镜片 光刻
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白瑜
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光学设计 数值孔径 光焦度 大数值孔径 红外光学系统
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张海波
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:照明系统 光焦度 偏振 光轴 光刻技术
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何毅
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:视场 照明系统 光焦度 补偿装置 均匀性
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杨金生
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:哈特曼波前传感器 波前传感器 自适应光学 子孔径 点源
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刘学峰
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:测量系统 补偿装置 波像差 光轴 剪切干涉仪
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