2025年1月10日
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游凤祥
作品数:
2
被引量:10
H指数:2
供职机构:
清华大学理学院化学系
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
洪啸吟
清华大学理学院化学系
陈明
清华大学理学院化学系
卢建平
清华大学理学院化学系
王慧
清华大学理学院化学系
陈其道
清华大学理学院化学系
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洪啸吟
供职机构:清华大学
研究主题:无显影气相光刻 涂料 光固化 光刻 光刻胶
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供职机构
所获资助
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卢建平
供职机构:清华大学
研究主题:无显影气相光刻 曝光量 光刻 甲胺基 刻蚀深度
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王慧
供职机构:清华大学环境学院
研究主题:分子动力学模拟 碳纳米管 降解 基因工程菌 表面力仪
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李元昌
供职机构:清华大学
研究主题:光致抗蚀剂 光刻 水型 成膜物质 产酸
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陈明
供职机构:清华大学理学院物理系
研究主题:紫外光固化 丙烯酸酯 多元醇 光致抗蚀剂 环氧-丙烯酸酯
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陈其道
供职机构:清华大学
研究主题:多元醇 丙烯酸酯 紫外光固化 阳离子光固化 缩聚
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