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李友

作品数：10 被引量：17H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
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刘明
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈宝钦
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束
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张建宏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束曝光 电子束 电子束光刻 版图 集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张卫红
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光学光刻技术 下一代 高分辨率 分辨率 光掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢常青
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 光刻 存储器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
龙世兵
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 浮栅 非挥发性 电子束直写
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张培文
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：扩散炉 硅电池 硅 硅太阳能电池 纳米级
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
路程
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 磁隧道结 降低功耗 纳米级 牺牲层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牛洁斌
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束曝光 衬底 电子束直写 衍射光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王冠亚
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：衍射光栅 大高宽比 电子束光刻 芯片 入射光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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