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冯庆浩

作品数：5 被引量：8H指数：2
供职机构：大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性教育部重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术更多>>

合作作者

领域

  • 5个电子电信
  • 4个一般工业技术
  • 3个电气工程
  • 3个理学
  • 2个金属学及工艺
  • 2个动力工程及工...
  • 1个化学工程
  • 1个自动化与计算...
  • 1个轻工技术与工...
  • 1个核科学技术
  • 1个文化科学

主题

  • 5个多晶
  • 5个多晶硅
  • 5个多晶硅薄膜
  • 5个硅薄膜
  • 4个电子回旋共振
  • 4个衍射
  • 3个氮化
  • 3个氮化镓
  • 3个等离子体
  • 3个电池
  • 2个氮化硅
  • 2个氮化硅薄膜
  • 2个氮化物
  • 2个导体
  • 2个等离子
  • 2个等离子体处理
  • 2个等离子体增强
  • 2个等离子体诊断
  • 2个低损耗
  • 2个电化学

机构

  • 4个大连理工大学
  • 1个东北大学
  • 1个吉林大学
  • 1个厦门大学
  • 1个中国科学院长...
  • 1个集成光电子学...

资助

  • 4个国家自然科学...
  • 2个江苏省自然科...
  • 2个教育部留学回...
  • 2个辽宁省教育厅...
  • 2个辽宁省自然科...
  • 2个中央高校基本...
  • 1个国家高技术研...
  • 1个国家重点基础...
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  • 1个表面工程技术...
  • 1个高等学校科技...
  • 1个国家重大基础...
  • 1个教育部“新世...
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  • 1个顺德区科技计...

传媒

  • 4个半导体光电
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  • 2个物理学报
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  • 2个哈尔滨工程大...
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  • 1个金属学报
  • 1个橡胶工业
  • 1个安徽工业大学...
  • 1个硅酸盐学报

地区

  • 5个辽宁省
共 5 条 记 录，以下是 1-5
秦福文
供职机构：大连理工大学
研究主题：GAN 电子回旋共振 氮化镓 ECR-PEMOCVD RHEED
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴爱民
供职机构：大连理工大学材料科学与工程学院
研究主题：纳米粉体 强流脉冲电子束 ECR-PECVD 表面改性 燃料电池
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王艳艳
供职机构：大连理工大学
研究主题：多晶硅薄膜 ECR-PECVD 锂 反射高能电子衍射 正极材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李伯海
供职机构：大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性教育部重点实验室
研究主题：多晶硅薄膜 ECR-PECVD 中间层 反射高能电子衍射 ECR
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王阳
供职机构：东北大学机械工程与自动化学院
研究主题：ECR-PECVD 化学汽相淀积 多晶硅薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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