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倪如山
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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理学
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合作作者
张苗
中国科学院上海微系统与信息技术...
多新中
中国科学院上海微系统与信息技术...
陈莉芝
中国科学院上海微系统与信息技术...
宋志棠
中国科学院上海微系统与信息技术...
林成鲁
中国科学院上海微系统与信息技术...
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黄继颇
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:ALN薄膜 氮化铝 离子注入 碳化硅 半导体
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张苗
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 绝缘体 衬底 离子注入 弛豫
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宋志棠
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:相变存储器 相变 相变材料 存储器 电阻
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陈莉芝
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOM SOI 激光再结晶 离子注入 吸杂
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多新中
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 离子注入 硅 ALN薄膜 SOI材料
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林成鲁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
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