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丁士进

作品数：219 被引量：165H指数：8
供职机构：复旦大学更多>>
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张卫
供职机构：复旦大学
研究主题：原子层淀积 存储器 晶体管 电极 隧穿
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王鹏飞
供职机构：复旦大学
研究主题：自对准 场效应晶体管 原子层淀积 存储器 漏电流
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孙清清
供职机构：复旦大学
研究主题：电极 存储器 原子层淀积 底电极 晶体管
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王季陶
供职机构：复旦大学
研究主题：金刚石 相图 化学气相淀积 低压 热力学
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刘文军
供职机构：复旦大学
研究主题：薄膜晶体管 选通 横线 掉电 电阻率
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卢红亮
供职机构：复旦大学
研究主题：铜互连 原子层淀积 扩散阻挡层 纳米材料 电镀铜
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朱宝
供职机构：复旦大学
研究主题：浮栅 电容 硅 金属 TSV
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张剑云
供职机构：复旦大学
研究主题：化学气相淀积 金刚石 相图 热力学 金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈玮
供职机构：复旦大学
研究主题：原子层淀积 快闪存储器 沉积厚度 介质薄膜 纳米晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王永平
供职机构：复旦大学
研究主题：等离子体 互连工艺 阻挡层 电阻率 磁控溅射沉积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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