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关秉羽

作品数:11 被引量:28H指数:4
供职机构:沈阳市北宇真空设备厂更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:一般工业技术理学电子电信核科学技术更多>>
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沈阳市北宇真空设备厂
研究主题:等离子体 非平衡磁控溅射 镀膜工艺 调制作用 TIN膜层
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大连理工大学
研究主题:数值模拟 性能研究 催化剂 有限元 优化设计
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沈阳北宇真空设备厂
研究主题:等离子体 镀膜机 微机控制 等离子体源 PLC
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