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王磊
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
供职机构:
华中科技大学机械科学与工程学院微系统研究中心
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
姜幼卿
华中科技大学材料科学与工程学院...
吴丰顺
华中科技大学材料科学与工程学院...
张金松
华中科技大学材料科学与工程学院...
吴懿平
华中科技大学材料科学与工程学院...
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华中科技大学
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吴懿平
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1篇
姜幼卿
1篇
王磊
传媒
1篇
微电子学
年份
1篇
2004
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集成电路互连线电迁移测试方法与评价
被引量:4
2004年
介绍了研究集成电路互连线电迁移的两种方法:加速寿命试验和移动速度试验。对加速寿命试验进行了分析和评价。分析表明,加速寿命试验方法存在高应力条件与正常工作条件下互连线电迁移中金属离子扩散机制不同、BLACK方程的使用范围有限、受试件特殊结构影响和电阻温度系数TCR随温度变化等问题。介绍了一种改进方法。详细介绍了移动速度试验,指出了其在互连线电迁移研究中的应用。
吴丰顺
王磊
吴懿平
张金松
姜幼卿
关键词:
集成电路
互连线
电迁移
加速寿命试验
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