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文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 1篇气压
  • 1篇气压传感器
  • 1篇腔体
  • 1篇微波组件
  • 1篇无源
  • 1篇感器
  • 1篇LTCC
  • 1篇LTCC技术
  • 1篇传感
  • 1篇传感器
  • 1篇传感器研制

机构

  • 2篇中国电子科技...

作者

  • 2篇李姗泽
  • 2篇刘红雨
  • 1篇王颖麟
  • 1篇李俊
  • 1篇杜彬
  • 1篇冯晓曦

传媒

  • 2篇电子与封装

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2016
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
LTCC多层基板腔体工艺研究被引量:1
2016年
机载、星载、舰载相控阵雷达由于其特定的使用环境,需要体积小、重量轻、高性能、高可靠、低成本的微波组件。带腔体LTCC基板具有高密度布线、电阻、电容、电感的内埋以及芯片的埋置等特性,是制作机载、星载、舰载相控阵雷达微波组件理想的高密度基板。针对带腔体LTCC集成基板的制造技术,简单介绍其工艺流程,并对腔体成型这项关键工艺进行了分析,提出了相应的解决方法。
李姗泽刘红雨杜彬冯晓曦马其琪
关键词:微波组件腔体
基于LTCC技术的无源气压传感器研制被引量:2
2017年
介绍基于LTCC技术的无源气压传感器的基本原理和理论模型,主要制作工艺流程和关键工艺难点。研究了LTCC内埋型空腔的实现方法、牺牲层材料的选取和依据,并对无源气压传感器的理论模型进行仿真分析与实际测试。结果表明利用LTCC内置空腔技术研制的气压传感器测试结果与仿真分析吻合较好,谐振频率随外界压力的增大而减小,谐振频率随压力的变化近似于线性变化,在复杂环境内依然能够实现预期功能。
刘红雨李姗泽王颖麟李俊
关键词:LTCC气压传感器
共1页<1>
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