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李金

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：河北工业大学信息工程学院更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇单晶
  • 1篇氮化铝
  • 1篇氮化铝薄膜
  • 1篇多晶
  • 1篇多晶硅
  • 1篇压力传感器
  • 1篇直流磁控
  • 1篇直流磁控反应...
  • 1篇力传感器
  • 1篇基片
  • 1篇溅射
  • 1篇硅单晶
  • 1篇反应溅射
  • 1篇感器
  • 1篇高温压力传感...
  • 1篇传感
  • 1篇传感器
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控反应溅射

机构

  • 1篇河北工业大学

作者

  • 1篇潘国峰
  • 1篇孙以材
  • 1篇李辉
  • 1篇李鹏
  • 1篇李金

传媒

  • 1篇仪表技术与传...

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
高温压力传感器用多晶硅-AlN-硅单晶基片被引量：1
2007年
论述纳米多晶硅-氮化铝隔膜-硅单晶衬底基片的研制。此基片可供制造高温力学量传感器。其要点是在力敏电阻条与硅弹性膜之间利用AlN进行绝缘隔离。AlN与硅的热膨胀系数接近,附着力高,耐击穿性好。又具有高化学稳定性,高热导率,对于压力传感器的电桥散热特别有利,可解决压力传感器启动时的零点时漂。由于无P-N结,力敏电阻无反向漏电,因此用此基片制造的力学量传感器的特性好(零点电漂移及热漂移小、非线性小)。力敏电阻条由纳米多晶硅构成。利用在600℃退火Al诱导晶化能使溅射得到的非晶硅转化成纳米多晶硅。
李辉孙以材潘国峰李金李鹏
关键词：多晶硅氮化铝薄膜高温压力传感器直流磁控反应溅射
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