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王大伟
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团
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发文基金:
国家科技重大专项
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相关领域:
电子电信
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合作作者
杜海文
太原理工大学
杨文伟
太原理工大学
续艳鑫
太原理工大学
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电子电信
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等离子清洗
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低压
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自由能
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接触角
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表面自由能
机构
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太原理工大学
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中国电子科技...
作者
1篇
续艳鑫
1篇
杨文伟
1篇
杜海文
1篇
王大伟
传媒
1篇
电子工艺技术
年份
1篇
2011
共
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在线低压等离子清洗研究
被引量:4
2011年
介绍了一种高效环保的在线等离子清洗方法,深入研究了低压下等离子的清洗原理和在线式的清洗机制,提出了介质气体的选配原则,分析了检测表面自由能和洁净程度的接触角测试方法。通过实验,在氩等离子在线清洗中,用接触角测试仪测定固体表面清洗前后粘附功的变化,发现在氩等离子清洗后固体表面粘附功提高了54.7%,相对于普通的射频等离子清洗其效率提升了约75%。
杨文伟
杜海文
王大伟
续艳鑫
关键词:
接触角
等离子清洗
表面自由能
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