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杨文伟

作品数:2 被引量:6H指数:2
供职机构:太原理工大学更多>>
发文基金:国家科技重大专项更多>>
相关领域:电子电信核科学技术更多>>

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇核科学技术

主题

  • 2篇等离子清洗
  • 2篇接触角
  • 1篇低压
  • 1篇在线式
  • 1篇射频功率
  • 1篇清洗工艺
  • 1篇自由能
  • 1篇表面自由能
  • 1篇测试仪

机构

  • 2篇太原理工大学
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 2篇杨文伟
  • 1篇续艳鑫
  • 1篇杜海文
  • 1篇王大伟

传媒

  • 1篇电子工艺技术

年份

  • 2篇2011
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
在线式等离子清洗工艺技术研究
在线式等离子体清洗是在低压下射频产生等离子体,粒子具有活性强、温度低和自由程较长的优点,比常压等离子清洗更适合处理高精密表面处理,加以在线的全自动模式,提高了工业生产中的效率,近年来引起了很多研究人员的关注。掌握在线等离...
杨文伟
关键词:射频功率清洗工艺
在线低压等离子清洗研究被引量:4
2011年
介绍了一种高效环保的在线等离子清洗方法,深入研究了低压下等离子的清洗原理和在线式的清洗机制,提出了介质气体的选配原则,分析了检测表面自由能和洁净程度的接触角测试方法。通过实验,在氩等离子在线清洗中,用接触角测试仪测定固体表面清洗前后粘附功的变化,发现在氩等离子清洗后固体表面粘附功提高了54.7%,相对于普通的射频等离子清洗其效率提升了约75%。
杨文伟杜海文王大伟续艳鑫
关键词:接触角等离子清洗表面自由能
共1页<1>
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