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杨文伟
作品数:
2
被引量:6
H指数:2
供职机构:
太原理工大学
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发文基金:
国家科技重大专项
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相关领域:
电子电信
核科学技术
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合作作者
王大伟
中国电子科技集团
杜海文
太原理工大学
续艳鑫
太原理工大学
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中国电子科技...
作者
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杨文伟
1篇
续艳鑫
1篇
杜海文
1篇
王大伟
传媒
1篇
电子工艺技术
年份
2篇
2011
共
2
条 记 录,以下是 1-2
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排序方式:
相关度排序
被引量排序
时效排序
在线式等离子清洗工艺技术研究
在线式等离子体清洗是在低压下射频产生等离子体,粒子具有活性强、温度低和自由程较长的优点,比常压等离子清洗更适合处理高精密表面处理,加以在线的全自动模式,提高了工业生产中的效率,近年来引起了很多研究人员的关注。掌握在线等离...
杨文伟
关键词:
射频功率
清洗工艺
在线低压等离子清洗研究
被引量:4
2011年
介绍了一种高效环保的在线等离子清洗方法,深入研究了低压下等离子的清洗原理和在线式的清洗机制,提出了介质气体的选配原则,分析了检测表面自由能和洁净程度的接触角测试方法。通过实验,在氩等离子在线清洗中,用接触角测试仪测定固体表面清洗前后粘附功的变化,发现在氩等离子清洗后固体表面粘附功提高了54.7%,相对于普通的射频等离子清洗其效率提升了约75%。
杨文伟
杜海文
王大伟
续艳鑫
关键词:
接触角
等离子清洗
表面自由能
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