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赵常德

作品数:1 被引量:6H指数:1
供职机构:清华大学更多>>
相关领域:交通运输工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇交通运输工程

主题

  • 1篇电容
  • 1篇芯片
  • 1篇加速度
  • 1篇加速度计
  • 1篇闭环
  • 1篇闭环系统
  • 1篇MEMS加速...

机构

  • 1篇清华大学

作者

  • 1篇刘民杰
  • 1篇董景新
  • 1篇刘云峰
  • 1篇赵常德

传媒

  • 1篇中国惯性技术...

年份

  • 1篇2010
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
基于MS3110电容读取芯片的MEMS加速度计被引量:6
2010年
介绍了通用电容读取芯片MS3110的内部结构、基本原理及其使用方法,提出了采用单片机实现片内EEPROM编程的方法,并给出了读写控制框图。以梳齿式硅微传感器为敏感元件,采用滞后比例积分调节器,基于MS3110通用电容读取芯片设计了一种MEMS力平衡闭环加速度计。实验结果表明:设计的MEMS加速度计能够闭环正常工作并取得了一定的性能。
刘民杰刘云峰董景新赵常德
关键词:MEMS加速度计闭环系统
共1页<1>
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