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赵常德
作品数:
1
被引量:6
H指数:1
供职机构:
清华大学
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相关领域:
交通运输工程
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合作作者
刘云峰
清华大学
董景新
清华大学
刘民杰
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1篇
2010
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基于MS3110电容读取芯片的MEMS加速度计
被引量:6
2010年
介绍了通用电容读取芯片MS3110的内部结构、基本原理及其使用方法,提出了采用单片机实现片内EEPROM编程的方法,并给出了读写控制框图。以梳齿式硅微传感器为敏感元件,采用滞后比例积分调节器,基于MS3110通用电容读取芯片设计了一种MEMS力平衡闭环加速度计。实验结果表明:设计的MEMS加速度计能够闭环正常工作并取得了一定的性能。
刘民杰
刘云峰
董景新
赵常德
关键词:
MEMS加速度计
闭环系统
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