刘民杰
- 作品数：17 被引量：15H指数：3
- 供职机构：清华大学更多>>
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- 相关领域：机械工程交通运输工程环境科学与工程电子电信更多>>
- 基于电容检测接口ASIC的闭环微机械加速度计被引量：1
- 2012年
- 对于采用微传感器和接口ASIC两芯片方案来实现的电容式微机械加速度计来说,寄生电容是影响其性能的重要因素之一。采用采样电荷结构,设计实现了电容检测接口ASIC电路,该电路具有对寄生电容不敏感的特点,并在0.35-μm CMOS标准工艺下流片实现。基于流片得到的电容检测ASIC样片,以梳齿式硅微传感器为敏感元件,采用滞后比例积分调节器,通过力平衡反馈方案设计实现了一种闭环微机械加速度计。实验结果表明:该闭环微加速度计的灵敏度为650 mV/g,噪声基底为23.17μg Hz。
- 刘民杰刘云峰董景新
- 关键词：微机械加速度计电容检测寄生电容
- 基于MS3110电容读取芯片的MEMS加速度计被引量：6
- 2010年
- 介绍了通用电容读取芯片MS3110的内部结构、基本原理及其使用方法,提出了采用单片机实现片内EEPROM编程的方法,并给出了读写控制框图。以梳齿式硅微传感器为敏感元件,采用滞后比例积分调节器,基于MS3110通用电容读取芯片设计了一种MEMS力平衡闭环加速度计。实验结果表明:设计的MEMS加速度计能够闭环正常工作并取得了一定的性能。
- 刘民杰刘云峰董景新赵常德
- 关键词：MEMS加速度计闭环系统
- 两片式集成MEMS加速度计设计与实验研究
- 本文采用敏感结构与测控ASIC两片式方案,通过系统封装技术设计实现了电容式开环集成MEMS加速度计,既有效减小MEMS加速度计尺寸,降低了功耗,又显著提高了可靠性、一致性。在设计实现电容式集成开环MEMS加速度计的基础上...
- 刘民杰刘云峰董景新
- 关键词：专用集成电路零偏稳定性
- 文献传递
- 一种电容式微加速度计
- 本发明公开了属于MEMS微惯性仪表领域，涉及采用体硅加工微机械结构设计和集成电路设计的一种电容式微加速度计。该电容式微加度速计采用微机械传感器和信号处理电路两块芯片分别集成，整体封装，最终实现封装系统内结构；本发明中的微...
- 刘民杰刘云峰万蔡辛董景新
- 文献传递
- 基于电容检测接口ASIC的闭环微机械加速度计
- 对于采用微传感器和接口ASIC两芯片方案来实现的微机械加速度计来说,寄生电容是影响其性能的重要因素之一.本丈设计实现了电容检测接口ASIC电路,该电路采用采样电荷结构,具有对寄生电容不敏感的特点,并在标准CMOS工艺下流...
- 刘民杰刘云峰董景新
- 关键词：微机械加速度计电容检测
- 文献传递
- 梳齿式微机械加速度计的设计与实现
- 微机械加速度计作为微机电系统(MEMS)的一个重要产品,目前已经得到了广泛应用。本文首先分析了伺服微机械加速度计的工作原理和数学模型,并讨论了伺服回路和敏感元件之间的关系;然后根据梳齿式微机械加速度计的敏感元件的特性设计...
- 李童杰董景新刘民杰孙宵赵长德
- 关键词：微机电系统微机械加速度计闭环系统
- 文献传递
- 电容检测电路及其电容式传感器接口电路芯片
- 本发明公开了一种电容检测电路及其电容式传感器接口电路芯片，涉及传感器装置领域，解决了电容检测电路结构复杂以及电容式传感器接口电路芯片体积大效率低的问题。该电容检测电路包括：电容读出前端电路，输入端与电容读出前端电路连接的...
- 董景新张刚刘民杰刘云峰
- 文献传递
- 电容式微加速度计零偏的补偿方法被引量：6
- 2008年
- 在电容式微加速度计系统中,零偏是一个普遍存在的问题。针对这个问题设计了一种采用二进制权重的微小电容阵列,引入了基于电荷的电容测量方法并对其进行了仿真验证,验证表明这种电容测量方法具有约0.01fF 的测量精度。采用该种电容测量方法对微小电容阵列进行仿真,在线宽为 0.18 um 的一层多晶硅六层金属的 CMOS 工艺下,取得了 1.23% 的相对精度,表明这种方法是可行性。
- 刘民杰董景新
- 关键词：仿真
- 电容式微加速度计专用集成电路温度特性研究
- 温度是影响微加速度计性能的一个重要的因素。论文在介绍微加速度计系统的基础上，介绍了电容式微加速度计专用集成电路，通过软件仿真和实际的温度试验，研究了专用集成电路的温度特性，给出了仿真和实测结果，并进行了相应的对比和分析，...
- 刘民杰刘云峰董景新
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- 补偿电容式微加速度计零偏的一种方法
- 设计了一种微小电容阵列来补偿电容式微加速度计的零偏,引入了基于电荷的电容测量方法并对其进行了仿真验证,验证表明其具有约0.01fF的测量精度。采用该种电容测量方法对微小电容阵列进行仿真,在线宽为0.18um的CMOS工艺...
- 刘民杰董景新
- 关键词：微加速度计
- 文献传递
